一种用于太赫兹探测器的天线组件

    公开(公告)号:CN116404396B

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202310584890.4

    申请日:2023-05-23

    Abstract: 本发明涉及电子器件技术领域,具体为一种用于太赫兹探测器的天线组件,包括基于GaNHEMT器件的处理芯片和天线,GaNHEMT的处理芯片和天线场耦合连接;其中,天线包括源极天线、漏极天线和栅极天线,所述源极天线和漏极天线设置在栅极两侧且对称,且栅极天线连接栅极向所述源极天线或漏极天线一侧延伸;所述源极天线和漏极天线长为38‑58微米,宽均为4‑19微米,中间栅极长200‑900纳米,中间栅极距源极天线和漏极天线的间距均为200‑650纳米;通过本发明天线组件实现在室温下提升探测器灵敏度一个数量级,室温下噪声等效功率达8pW/Hz0.5以下;将天线组件与超半球硅透镜或者喇叭直波导集成,提升太赫兹波的吸收率,灵敏度得到提升。

    基于GaN-HEMT的增强型器件的制备方法

    公开(公告)号:CN113809151A

    公开(公告)日:2021-12-17

    申请号:CN202110908334.9

    申请日:2021-08-09

    Abstract: 本发明提供基于GaN‑HEMT的增强型器件的制备方法,包括:形成硅基GaN外延片,从下到上依次包括P型衬底、GaN缓冲层、GaN沟道层、AIN插入层、AlGaN势垒层和GaN帽层;采用刻蚀工艺以实现凹槽栅结构;生成刻蚀界面的保护层;制作源电极、漏电极及栅电极。本发明通过数字式ICP刻蚀工艺实现精确刻蚀凹槽栅的深度,并通过刻蚀槽终端提高器件的平均电场强度并增大击穿电压。刻蚀过程中严格控制各工作参数,得到更好的刻蚀效果,并在刻蚀后生成保护层,保证样品表面的粗糙度良好,抑制器件的退化。最后,通过在制作源电极和漏电极的欧姆接触时,取缔常用的Au,而通过合适的厚度及温度、时间,实现低温无金的制作方法,降低了成本。

    一种柔性可穿戴的摩擦纳米发电机

    公开(公告)号:CN113794399A

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202110907593.X

    申请日:2021-08-09

    Abstract: 本发明提供一种柔性可穿戴的摩擦纳米发电机,包括经线和纬线,经线和纬线通过编织的方法制备织物;经线包括第一电极和第一摩擦材料;纬线包括第二电极和第二摩擦材料;当外力作用于摩擦纳米发电机时,经线中的第一摩擦材料与纬线中的第二摩擦材料接触摩擦,在二者表面产生电势差。本发明第一摩擦材料采用适合人体穿戴的硅胶膜,且硅胶膜不受湿度影响,更适宜穿戴;且在硅胶中加入钛酸钡纳米线,提高介电常数,尤其是添加改性后的钛酸钡纳米线后,不仅能够提高介电性能,还能提高击穿强度;同时,第二摩擦材料采用聚氨酯丙烯酸酯、银纳米纤维、液态金属球组成复合薄膜,相对于传统的PVDF、PDMS等材料,其拉伸率大大提高,更适宜穿戴。

    制备高比表面石墨烯的方法

    公开(公告)号:CN113620282A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110908256.2

    申请日:2021-08-09

    Abstract: 本发明涉及一种制备高比表面石墨烯的方法,方法为:1)将15mg/mL强碱水溶液加入10mg/mL氧化石墨烯溶液中,混合均匀得悬浮液,强碱溶液与氧化石墨烯溶液的体积比为6:1~1:1;2)往悬浮液中加入0.1~0.4g维生素C、以及0.1g汉斯酯1,4‑二氢吡啶后,将其置于85℃~95℃的水浴锅中反应24‑30小时以得到还原后的石墨烯,干燥得固体。通过该方法制备的石墨烯比表面积大于1000m2/g,且成本低,环境友好性高。

    太赫兹波探测器用衬底前驱体及其制备方法

    公开(公告)号:CN109411563B

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN201811052425.1

    申请日:2017-06-26

    Abstract: 本发明属于探测器技术领域,具体涉及一种太赫兹波探测器用衬底前驱体及其制备方法。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管(HEMT)为基本结构,通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层;然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极,得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率,得到在室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置,最终实现对太赫兹波的探测。

    宽温带太赫兹波探测器用衬底前驱体及其制备方法

    公开(公告)号:CN109065674A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201811052424.7

    申请日:2017-06-26

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/1848 H01L31/1136

    Abstract: 本发明属于探测器技术领域,具体涉及一种宽温带太赫兹波探测器用衬底前驱体及其制备方法。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管(HEMT)为基本结构,通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层;然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极,得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率,得到在超过室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置,最终实现对太赫兹波的宽温带探测。

    用于太赫兹波探测的器件

    公开(公告)号:CN108807603A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810836884.2

    申请日:2017-06-26

    Abstract: 本发明属于探测器技术领域,具体涉及一种用于太赫兹波探测的器件。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管(HEMT)为基本结构,通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层;然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极,得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率,得到室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置,最终实现对太赫兹波的探测。

    用于太赫兹波探测的器件的制备方法

    公开(公告)号:CN107195729B

    公开(公告)日:2018-09-25

    申请号:CN201710495199.3

    申请日:2017-06-26

    Abstract: 本发明属于探测器技术领域,具体涉及一种用于太赫兹波探测的器件及其制备方法。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管(HEMT)为基本结构,通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层;然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极,得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率,得到室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置,最终实现对太赫兹波的探测。

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