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公开(公告)号:CN118090033A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202410189772.8
申请日:2024-02-20
Applicant: 苏州容启传感器科技有限公司
IPC: G01L21/00
Abstract: 本申请公开一种真空传感器组件及其制造方法,涉及真空度检测技术领域。真空传感器组件包括至少一个内壳,内壳包括底座和罩壳,罩壳开设有透气孔,底座固定有引脚,引脚穿过底座;第一真空传感器,其固定于底座上,第一真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接;第二真空传感器,其固定于底座上,第二真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接;外壳体,内壳固定在外壳体内,内壳的底座固定于安装孔内以使引脚裸露在外壳体外侧。可以利用第一真空传感器测量靠近大气压段的低真空段,利用第二真空传感器测量高真空段,从而有效拓宽真空度测量量程,同时提高整个量程范围内的测量精度。并且在测量过程中不必频繁的更换或切换真空传感器,提高了测量效率。