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公开(公告)号：CN118090033A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410189772.8
申请日：2024-02-20
Applicant: 苏州容启传感器科技有限公司
IPC: G01L21/00
Abstract: 本申请公开一种真空传感器组件及其制造方法，涉及真空度检测技术领域。真空传感器组件包括至少一个内壳，内壳包括底座和罩壳，罩壳开设有透气孔，底座固定有引脚，引脚穿过底座；第一真空传感器，其固定于底座上，第一真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接；第二真空传感器，其固定于底座上，第二真空传感器的信号传输端与引脚通讯连接；外壳体，内壳固定在外壳体内，内壳的底座固定于安装孔内以使引脚裸露在外壳体外侧。可以利用第一真空传感器测量靠近大气压段的低真空段，利用第二真空传感器测量高真空段，从而有效拓宽真空度测量量程，同时提高整个量程范围内的测量精度。并且在测量过程中不必频繁的更换或切换真空传感器，提高了测量效率。
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