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公开(公告)号：CN117490889A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311585857.X
申请日：2023-11-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种压阻式微触碰检测探针及其制备方法，其包括：基底，基底包括传导部以及至少一个安装槽，传导部沿基底高度方向延伸设置，安装槽延伸至传导部；至少一个压阻件，至少一个压阻件对应设置于至少一个安装槽中；探头，探头的弹性模量大于压阻件的弹性模量，探头连接于传导部且通过传导部挤压压阻件。本发明中的探头不会发生较大程度的弯折，而是仅仅会发生微小偏转，由此能够大大降低传统接触式探头在弯曲过程中出现压力损耗，进而使测量结果与实际数值发生偏差的问题，尤其是对于微米级/纳米级工件来说，本申请能够显著提高测量精度，因此，本压阻式微触碰检测探针及其制备方法在本行业内具有显著优势。
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公开(公告)号：CN221055929U
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202323191125.0
申请日：2023-11-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型提供一种压阻式微触碰检测探针及检测装置，其包括：基底，基底包括传导部以及至少一个安装槽，传导部沿基底高度方向延伸设置，安装槽延伸至传导部；至少一个压阻件，至少一个压阻件对应设置于至少一个安装槽中；探头，探头的弹性模量大于压阻件的弹性模量，探头连接于传导部且通过传导部挤压压阻件。本实用新型中的探头不会发生较大程度的弯折，而是仅仅会发生微小偏转，由此能够大大降低传统接触式探头在弯曲过程中出现压力损耗，进而使测量结果与实际数值发生偏差的问题，尤其是对于微米级/纳米级工件来说，本申请能够显著提高测量精度，因此，本压阻式微触碰检测探针及检测装置在本行业内具有显著优势。
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