具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法

    公开(公告)号:CN107065436A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710288631.1

    申请日:2017-04-27

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明公开了具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法,所述感光树脂为含糖聚合物,利用其在一定电子束曝光剂量范围内的可控碳化及自交联作用,实现具有纳米尺度精确定位的碳纳米点制备,在特定波长光照下具有荧光特性,实现荧光显影及其他应用。水是本发明中唯一使用的溶剂,具有绿色环保的特点,同时可在任意指定位置形成具有任意纳米图案的荧光碳纳米点,一步解决荧光粒子制备与纳米尺度精确定位两个问题,在半导体制造以及生物领域具广泛的应用前景。

    具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法

    公开(公告)号:CN107065436B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201710288631.1

    申请日:2017-04-27

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明公开了具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法,所述感光树脂为含糖聚合物,利用其在一定电子束曝光剂量范围内的可控碳化及自交联作用,实现具有纳米尺度精确定位的碳纳米点制备,在特定波长光照下具有荧光特性,实现荧光显影及其他应用。水是本专利中唯一使用的溶剂,具有绿色环保的特点,同时可在任意指定位置形成具有任意纳米图案的荧光碳纳米点,一步解决荧光粒子制备与纳米尺度精确定位两个问题,在半导体制造以及生物领域具广泛的应用前景。

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