-
公开(公告)号：CN103885325B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201410082524.X
申请日：2014-03-08
Applicant: 苏州大学
IPC: G04F5/14
Abstract: 本发明公开一种芯片级原子钟气室及其制备方法。具体为采用SOI硅片，在作为衬底的硅层上制备腔体，用以放置碱金属、充入惰性气体，并用玻璃封闭腔体，最后在作为器件层的硅层一侧设置支撑材料对器件进行保护，从而完成高稳定性的芯片级原子钟气室的制备；本发明只需通过一次关键的静电键合即可完成原子钟气室的制备，避免了因为静电键合的质量不好而导致气室稳定性差的问题；提高了产品成品率；本发明公开的气室结构简单合理，所以制得的气室体积小，使用简单，并且制备成本低，适于工业化生产。
-
公开(公告)号：CN103744283B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410037275.2
申请日：2014-01-26
Applicant: 苏州大学
IPC: G04F5/14
Abstract: 本发明公开一种碱金属谐振器及其制备方法。碱金属谐振器是由玻璃-硅-玻璃，通过两次静电键合，形成的三明治结构。碱金属通过谐振器侧面预留通孔移植到碱金属谐振腔内；然后，用低温焊料，在手套箱中完成碱金属谐振器的封闭操作。本发明采用了MEMS的工艺，可以进行批量生产，成本低；另外，碱金属的移植是在静电键合工艺过程之后进行的，不会影响静电键合质量；碱金属谐振腔内植入是纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响信号质量；不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器制造成本和制作周期。
-
公开(公告)号：CN104734664A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201510156831.2
申请日：2015-04-03
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种带有基于微机电技术的电调衰减器的压控振荡器，包括电调衰减器和压控振荡信号源，所述压控振荡信号源的输出端连接到电调衰减器，所述电调衰减器由微带线模块和PIN二极管组成，所述压控振荡信号源包括有源放大器件、谐振器件、调谐网络和偏置电路，所述微带线模块包括含有空气腔的衬底、设于衬底表面的一层介质薄膜、设于介质薄膜上的微带线及其输入、输出端口的焊盘和接地焊盘，所述PIN二极管设于微带线输入、输出端口的焊盘与接地焊盘之间。本发明能够实现压控振荡器的输出信号在基本不失真的情况下，输出功率能够连续衰减可调。
-
公开(公告)号：CN103885325A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410082524.X
申请日：2014-03-08
Applicant: 苏州大学
IPC: G04F5/14
Abstract: 本发明公开一种芯片级原子钟气室及其制备方法。具体为采用SOI硅片，在作为衬底的硅层上制备腔体，用以放置碱金属、充入惰性气体，并用玻璃封闭腔体，最后在作为器件层的硅层一侧设置支撑材料对器件进行保护，从而完成高稳定性的芯片级原子钟气室的制备；本发明只需通过一次关键的静电键合即可完成原子钟气室的制备，避免了因为静电键合的质量不好而导致气室稳定性差的问题；提高了产品成品率；本发明公开的气室结构简单合理，所以制得的气室体积小，使用简单，并且制备成本低，适于工业化生产。
-
公开(公告)号：CN103856215A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410074290.4
申请日：2014-03-03
Applicant: 苏州大学
IPC: H03L7/26
Abstract: 本发明公开了一种低功耗芯片级原子钟物理封装装置，包括外部封装、上下支架、框架空间器以及内部元件，所述外部封装由陶瓷封装及底座组成，所述内部元件包括激光器、光电探测器、碱性原子泡气室、1/4波片以及C场偏置模块，所述C场偏置模块包括永磁体组件，所述永磁体组件产生沿物理封装轴向方向的磁场。本发明将永磁体产生的磁场全部或部分代替原有芯片级原子钟物理封装中的线圈产生的磁场，使得流过线圈的电流达到最少，从而大大减少芯片级原子钟物理封装的能耗。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103744283A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201410037275.2
申请日：2014-01-26
Applicant: 苏州大学
IPC: G04F5/14
Abstract: 本发明公开一种碱金属谐振器及其制备方法。碱金属谐振器是由玻璃-硅-玻璃，通过两次静电键合，形成的三明治结构。碱金属通过谐振器侧面预留通孔移植到碱金属谐振腔内；然后，用低温焊料，在手套箱中完成碱金属谐振器的封闭操作。本发明采用了MEMS的工艺，可以进行批量生产，成本低；另外，碱金属的移植是在静电键合工艺过程之后进行的，不会影响静电键合质量；碱金属谐振腔内植入是纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响信号质量；不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器制造成本和制作周期。
-
公开(公告)号：CN203720553U
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201420050120.8
申请日：2014-01-26
Applicant: 苏州大学
IPC: G04F5/14
Abstract: 本实用新型公开一种碱金属谐振器，其为玻璃-硅-玻璃三明治结构，包括谐振腔腔体与包围腔体的六个侧面，在由硅片构成的一个侧面上设有一开口，开口的一端与谐振腔连通，另一端由焊料封闭；所述焊料与硅片之间设有金属层；谐振腔腔体内放有碱金属并充有缓冲气体。根据本实用新型的碱金属谐振器，碱金属可以通过其侧面预留的开口进入谐振腔中，不会与静电键合互相影响；焊料将开口封闭，使谐振腔密闭，保持谐振腔中的缓冲气体；与现有相比，本实用新型提供的碱金属谐振器制备方法简单、成本低、性能优异，适于工业化生产。
-
公开(公告)号：CN204669324U
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201520199133.6
申请日：2015-04-03
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本实用新型公开了一种带有基于微机电技术的电调衰减器的压控振荡器，包括电调衰减器和压控振荡信号源，所述压控振荡信号源的输出端连接到电调衰减器，所述电调衰减器由微带线模块和PIN二极管组成，所述压控振荡信号源包括有源放大器件、谐振器件、调谐网络和偏置电路，所述微带线模块包括含有空气腔的衬底、设于衬底表面的一层介质薄膜、设于介质薄膜上的微带线及其输入、输出端口的焊盘和接地焊盘，所述PIN二极管设于微带线输入、输出端口的焊盘与接地焊盘之间。本实用新型能够实现压控振荡器的输出信号在基本不失真的情况下，输出功率能够连续衰减可调。
-
公开(公告)号：CN203786476U
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201420102853.1
申请日：2014-03-08
Applicant: 苏州大学
IPC: G04F5/14
Abstract: 本实用新型公开了一种芯片级原子钟气室。具体包括由衬底层、埋层以及器件层构成的SOI硅片层、玻璃层以及支撑层，所述SOI硅片的衬底层上设有作为腔体的凹槽，凹槽内放有碱金属或者用于制备碱金属的原料并充有惰性气体；所述SOI硅片的衬底层与玻璃层通过静电键合相连；所述SOI硅片的器件层一侧设有一透明的支撑层。本实用新型公开的气室结构简单合理，所以制得的气室体积小，使用简单，并且制备成本低，产品成品率高，适于工业化生产。
-
公开(公告)号：CN203722609U
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201420092907.0
申请日：2014-03-03
Applicant: 苏州大学
IPC: H03L7/26
Abstract: 本实用新型公开了一种低功耗芯片级原子钟物理封装装置，包括外部封装、上下支架、框架空间器以及内部元件，所述外部封装由陶瓷封装及底座组成，所述内部元件包括激光器、光电探测器、碱性原子泡气室、1/4波片以及C场偏置模块，所述C场偏置模块包括永磁体组件，所述永磁体组件产生沿物理封装轴向方向的磁场。本实用新型将永磁体产生的磁场全部或部分代替原有芯片级原子钟物理封装中的线圈产生的磁场，使得流过线圈的电流达到最少，从而大大减少芯片级原子钟物理封装的能耗。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.017 seconds)
