公开(公告)号：CN103744283B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201410037275.2

申请日：2014-01-26

Applicant: 苏州大学

Inventor： 张忠山 ,  于连忠 ,  汤亮 ,  乔东海

IPC: G04F5/14

Abstract: 本发明公开一种碱金属谐振器及其制备方法。碱金属谐振器是由玻璃-硅-玻璃，通过两次静电键合，形成的三明治结构。碱金属通过谐振器侧面预留通孔移植到碱金属谐振腔内；然后，用低温焊料，在手套箱中完成碱金属谐振器的封闭操作。本发明采用了MEMS的工艺，可以进行批量生产，成本低；另外，碱金属的移植是在静电键合工艺过程之后进行的，不会影响静电键合质量；碱金属谐振腔内植入是纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响信号质量；不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器制造成本和制作周期。

公开(公告)号：CN103744283A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201410037275.2

申请日：2014-01-26

Applicant: 苏州大学

Inventor： 张忠山 ,  于连忠 ,  汤亮 ,  乔东海

IPC: G04F5/14

Abstract: 本发明公开一种碱金属谐振器及其制备方法。碱金属谐振器是由玻璃-硅-玻璃，通过两次静电键合，形成的三明治结构。碱金属通过谐振器侧面预留通孔移植到碱金属谐振腔内；然后，用低温焊料，在手套箱中完成碱金属谐振器的封闭操作。本发明采用了MEMS的工艺，可以进行批量生产，成本低；另外，碱金属的移植是在静电键合工艺过程之后进行的，不会影响静电键合质量；碱金属谐振腔内植入是纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响信号质量；不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器制造成本和制作周期。

公开(公告)号：CN203720553U

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201420050120.8

申请日：2014-01-26

Applicant: 苏州大学

Inventor： 张忠山 ,  于连忠 ,  汤亮 ,  乔东海

IPC: G04F5/14

Abstract: 本实用新型公开一种碱金属谐振器，其为玻璃-硅-玻璃三明治结构，包括谐振腔腔体与包围腔体的六个侧面，在由硅片构成的一个侧面上设有一开口，开口的一端与谐振腔连通，另一端由焊料封闭；所述焊料与硅片之间设有金属层；谐振腔腔体内放有碱金属并充有缓冲气体。根据本实用新型的碱金属谐振器，碱金属可以通过其侧面预留的开口进入谐振腔中，不会与静电键合互相影响；焊料将开口封闭，使谐振腔密闭，保持谐振腔中的缓冲气体；与现有相比，本实用新型提供的碱金属谐振器制备方法简单、成本低、性能优异，适于工业化生产。