银蚀刻液及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116288354A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310186640.5

    申请日:2023-03-01

    IPC分类号: C23F1/30

    摘要: 本发明涉及蚀刻液技术领域,公开一种银蚀刻液,包括按质量百分比计的以下组分:30‑50%磷酸;5‑20%柠檬酸;5‑20%硝酸;5‑20%硝酸钾;5‑20%丙酸;0.05‑2%EDTA;0.05‑2%十二烷基苯磺酸纳;余量为纯水。本发明的银蚀刻液用丙酸代替冰醋酸,降低药水的味道,同时促进银的蚀刻,有效改善蚀刻液距离和角度。本发明的银蚀刻液蚀刻速率均匀,几乎没有银析出,不与截面发生反应,廉价经济。

    一种用于TFT-LCD行业CF制程的负胶显影液

    公开(公告)号:CN114236981A

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN202111398974.6

    申请日:2021-11-24

    IPC分类号: G03F7/32

    摘要: 本发明属于金属蚀刻技术领域,特别涉及一种用于TFT‑LCD行业CF制程的负胶显影液,由以下质量百分含量的组分组成:5‑25wt%无机碱、2‑10wt%表面活性剂、2‑10wt%水溶助长剂和余量的去离子水,所述表面活性剂为烷基硫酸盐与烷基糖苷组合物LF‑802与乙氧基季铵盐组合物LF‑810的1:1~1:2质量比的混合物。本发明负胶显影剂具有分散稳定性高、显影后图案清晰、无毛边、无光刻胶残留、无底切、末期光刻胶无反粘等特点。

    一种高性能玻璃盖板抛光液
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113817413A

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202111160765.8

    申请日:2021-09-30

    IPC分类号: C09G1/18

    摘要: 本发明属于玻璃蚀刻技术领域,特别涉及一种高性能玻璃盖板抛光液,组分包含:1‑10wt%氢氟酸、1‑10wt%硝酸、1‑10wt%硫酸,0.1‑5wt%稳定剂、0.1‑2wt%缓蚀剂、0.1‑2wt%月桂酰两性基二乙酸二钠和余量的去离子水。本发明能够让玻璃的蚀刻高效且平整度好,免去二次打磨,满足面板行业对玻璃表面的形貌要求。

    一种低凝点磷酸
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106882775A

    公开(公告)日:2017-06-23

    申请号:CN201710144389.0

    申请日:2017-03-10

    IPC分类号: C01B25/18

    CPC分类号: C01B25/18

    摘要: 本发明属于化学制剂技术领域,涉及一种低凝点磷酸,配方包括75~80wt%磷酸、0.1~3wt%甲醇、0.1~3wt%乙二醇和余量的去离子水。本磷酸在保证有效浓度的前提下令凝固点能够降低到0℃以下,常温状态粘度低于80%磷酸近一半,能够保持更好的流动性,适应高科技行业中的使用需求。

    抗腐蚀改性PI膜剥离液及其制备方法

    公开(公告)号:CN117369226A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311256870.0

    申请日:2023-09-27

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 本发明涉及剥离液技术领域,公开一种抗腐蚀改性PI膜剥离液及其制备方法。本发明PI膜剥离液包括按质量百分比计的以下组分:N‑甲基吡咯烷酮5‑10%,N,N‑二甲基甲酰胺5‑10%,二乙二醇丁醚30‑50%,一乙醇胺5‑10%,氢氧化钾0.1‑0.5%,金属保护剂1‑2%,添加剂0.5‑1%,余量为纯水。本发明的PI膜剥离液成分稳定,剥膜快速稳定,无残留,对金属层、PI层无腐蚀,操作简便,适应多种设备,工艺宽容度大,不含氟化物,生物可降解,水溶性好,产品直接水洗,综合效益高,能实现进口替代。

    一种用于FP行业Array制程厚膜工艺的铜蚀刻液

    公开(公告)号:CN114000150A

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202111267768.1

    申请日:2021-10-29

    IPC分类号: C23F1/18

    摘要: 本发明属于金属蚀刻技术领域,特别涉及一种用于FP行业Array制程厚膜工艺的铜蚀刻液,由以下质量百分含量的组分组成:5‑10wt%磷酸、1‑5wt%强氧化性酸、0.1‑1wt%甲基苯并三氮唑、1‑5wt%螯合剂和余量的去离子水。本发明通过在配方中不含过氧化氢,稳定性好,安全性高,蚀刻效率可控,使用寿命长,能够满足厚膜工艺铜制程蚀刻的需求。

    一种高效无氟铜钼合金膜用蚀刻液

    公开(公告)号:CN113755839A

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN202111098419.1

    申请日:2021-09-18

    IPC分类号: C23F1/18 C23F1/26

    摘要: 本发明属于金属蚀刻技术领域,特别涉及一种高效无氟铜钼合金膜用蚀刻液,由以下质量百分含量的组分组成:1‑5wt%过氧化物、5‑10wt%有机酸、0.1‑1wt%缓蚀剂、1‑5wt%螯合剂和余量的去离子水。本发明能够让蚀刻高效安全,没有氟的毒副作用,CD loss能够保持在1±0.2um,蚀刻坡度角稳定在45‑55°之间,蚀刻液的使用寿命长,能够更好地满足客户对铜钼合金的蚀刻要求。