基板承载结构
    3.
    发明公开
    基板承载结构 审中-实审

    公开(公告)号:CN118538659A

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202311846513.X

    申请日:2023-12-28

    IPC分类号: H01L21/687 H01J37/32

    摘要: 一种基板承载结构,包括:本体,具有相对的第一表面及第二表面;至少一开口,贯通形成于该本体并连通该第一表面及该第二表面,并具有至少一转角;至少一第一支撑件,设于该本体并邻近该转角;至少一第二支撑件,设于该本体并邻近该转角,且与该第一支撑件相间隔;以及至少一第三支撑件,设于该本体并位于该转角,且与该第二支撑件相间隔。