公开(公告)号：CN118687377A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410187683.X

申请日：2024-02-20

Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社

Inventor： 矶明典 ,  増田浩一 ,  高桥崇史 ,  黒泽雅彦 ,  福田丈二

IPC: F27B17/00 ,  H01L21/67 ,  F27D11/00

Abstract: 本发明提供一种可减小工件的面内的温度的偏差的加热处理装置。实施方式的加热处理装置包括：腔室，在内部具有对工件进行加热处理的加热区域；至少一个第一加热器，在所述腔室的内部设置于所述加热区域的上方及下方中的至少任一者，且沿第一方向延伸；以及至少一个第二加热器，在所述腔室的内部以沿和所述第一方向交叉的第二方向与所述第一加热器并排的方式存在，且比所述第一加热器短。所述第一加热器由单一或一对组构成，并且配置成在所述第一方向上对所述加热区域的中央区域及所述加热区域的周缘区域进行加热。所述第二加热器配置成在所述第一方向上对所述加热区域的所述周缘区域进行加热。

公开(公告)号：CN117781689A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311016243.X

申请日：2023-08-14

Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社

Inventor： 石原淳司 ,  矶明典 ,  増田浩一 ,  福田丈二

IPC: F27B17/00 ,  F27D5/00 ,  F27D11/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种加热处理装置，在加热器的通断时，即使加热器在沿着中心轴的方向上伸缩也可抑制产生颗粒。加热处理装置包括：腔室，在内部收纳工件；多个加热器，设置于腔室的内部且呈棒状；以及第一支撑部及第二支撑部中的至少任一者，在腔室的内部对加热器进行支撑。多个加热器在与加热器的中心轴交叉的方向上排列。第一支撑部具有：第一板，在加热器的下方以与多个加热器平行的方式设置；以及转动部，设置于加热器与第一板之间，与加热器以及第一板接触，且能够在沿着加热器的中心轴的方向上移动。第二支撑部具有：保持部，对加热器进行保持；以及第二板，与保持部连接且能够根据加热器的伸缩而在沿着加热器的中心轴的方向上进行弹性变形。