公开(公告)号：CN112309933B

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202010702618.8

申请日：2020-07-21

Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社

Inventor： 西部幸伸 ,  亀井健吾 ,  松井绘美

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种可提高基板品质的基板搬送装置及基板处理装置。作为实施方式的基板搬送装置的搬送部(30)包括：多个搬送辊(31A)，搬送具有翘曲的基板(W)；以及多个按压辊(31B)，以分别与多个搬送辊(31A)相向而分离的方式设置，且对由多个搬送辊(31A)搬送的基板(W)进行按压，相向而分离的搬送辊(31A)及按压辊(31B)设为一组，且沿着基板(W)的搬送方向(A1)排列有多组，各组的搬送辊(31A)与按压辊(31B)的分离距离沿着基板(W)的搬送方向(A1)而变短。

公开(公告)号：CN112309933A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN202010702618.8

申请日：2020-07-21

Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社

Inventor： 西部幸伸 ,  亀井健吾 ,  松井绘美

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种可提高基板品质的基板搬送装置及基板处理装置。作为实施方式的基板搬送装置的搬送部(30)包括：多个搬送辊(31A)，搬送具有翘曲的基板(W)；以及多个按压辊(31B)，以分别与多个搬送辊(31A)相向而分离的方式设置，且对由多个搬送辊(31A)搬送的基板(W)进行按压，相向而分离的搬送辊(31A)及按压辊(31B)设为一组，且沿着基板(W)的搬送方向(A1)排列有多组，各组的搬送辊(31A)与按压辊(31B)的分离距离沿着基板(W)的搬送方向(A1)而变短。