公开(公告)号：CN101849275B

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN200880115028.2

申请日：2008-11-06

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 玻·范登堡 ,  威廉·狄佛吉利欧

IPC: H01J37/077 ,  H01J3/00 ,  H01J37/02 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/06366

Abstract: 一种等离子体电子流系统，包括构造为包含气体的壳体，并包括位于其中的细长引出缝、阴极和多个阳极，并且其中所述细长引出缝与离子注入机直接连通，所述阴极丝发射电子，所述电子通过所述阴极和多个阳极之间的电势差被吸引至所述多个阳极，其中所述电子通过所述细长引出缝被释放，作为电子带用于中和在离子注入机内行进的带状离子束。

公开(公告)号：CN101849275A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200880115028.2

申请日：2008-11-06

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 玻·范登堡 ,  威廉·狄佛吉利欧

IPC: H01J37/077 ,  H01J3/00 ,  H01J37/02 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/06366

Abstract: 一种等离子体电子流系统，包括构造为包含气体的壳体，并包括位于其中的细长引出缝、阴极和多个阳极，并且其中所述细长引出缝与离子注入机直接连通，所述阴极丝发射电子，所述电子通过所述阴极和多个阳极之间的电势差被吸引至所述多个阳极，其中所述电子通过所述细长引出缝被释放，作为电子带用于中和在离子注入机内行进的带状离子束。