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公开(公告)号：CN104380428A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380028481.0
申请日：2013-05-24
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/18
CPC classification number: H01J37/185 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统(101)，该系统向置于低于环境温度夹盘(130)上的处理腔室(122)的处理环境(126)中的工件(118)提供离子(112)。具有中间环境(138)的中间腔室(136)与外部环境(132)流体连通并具有用于冷却和加热工件(118)的冷却站(140)及加热站(142)。在处理腔室(122)与中间腔室(136)之间提供装载锁定腔室(150)，以使处理环境(126)与中间环境(138)隔离。正压源(166)在中间腔室(136)内提供干气(168)，中间腔室(136)的露点低于中间腔室外部环境(132)的露点。正压源通过自中间腔室流向外部环境的干气流而使中间环境与外部环境隔离。
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公开(公告)号：CN105981152A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201580007888.4
申请日：2015-02-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种静电夹紧系统，其具有静电夹盘，该静电夹盘具有一个或多个电极和夹紧表面以及穿过该静电夹盘的一个或多个流体通道。多个流体源具有与其相关联的各自的多个流体，其中所述多个流体中的每一流体在化学上彼此相异且具有与其相关联的各自的可行流体温度范围。热单元配置成将多个流体加热和/或冷却至一个或多个预定温度设定点。阀组件配置成使所述多个流体源中的每一流体源选择性流体耦接至所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道。控制器亦配置成经由对所述阀组件的控制使所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道选择性与所述多个流体源中的所选一个或多个流体源流体耦接。
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公开(公告)号：CN105981152B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201580007888.4
申请日：2015-02-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种静电夹紧系统，其具有静电夹盘，该静电夹盘具有一个或多个电极和夹紧表面以及穿过该静电夹盘的一个或多个流体通道。多个流体源具有与其相关联的各自的多个流体，其中所述多个流体中的每一流体在化学上彼此相异且具有与其相关联的各自的可行流体温度范围。热单元配置成将多个流体加热和/或冷却至一个或多个预定温度设定点。阀组件配置成使所述多个流体源中的每一流体源选择性流体耦接至所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道。控制器亦配置成经由对所述阀组件的控制使所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道选择性与所述多个流体源中的所选一个或多个流体源流体耦接。
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公开(公告)号：CN104380428B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201380028481.0
申请日：2013-05-24
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/18
CPC classification number: H01J37/185 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统(101)，该系统向置于低于环境温度夹盘(130)上的处理腔室(112)。具有中间环境(138)的中间腔室(136)与外部环境(132)流体连通并具有用于冷却和加热工件(118)的冷却站(140)及加热站(142)。在处理腔室(122)与中间腔室(136)之间提供装载锁定腔室(150)，以使处理环境(126)与中间环境(138)隔离。正压源(166)在中间腔室(136)内提供干气(168)，中间腔室(136)的露点低于中间腔室外部环境(132)的露点。正压源通过自中间腔室流向外部环境的干气流而使中间环境与外部环境隔离。(122)的处理环境(126)中的工件(118)提供离子
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