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公开(公告)号：CN101233597B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200680028442.0
申请日：2006-06-02
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/302 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/026 , H01J2237/028 , H01J2237/30433 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供了一种用于减轻在离子注入期间的污染的系统、方法以及装置。本发明提供了离子源、终点台以及设置在离子源与终点台之间的质量分析器，其中离子束由离子源形成且经由质量分析器而行进至终点台。离子束收集组件包括：粒子收集器、粒子吸引器以及与质量分析器连接的屏蔽。其中，可操作粒子吸引器的电位，以将污染粒子吸引并限制在粒子收集器中，并且其中可操作该屏蔽，以将粒子吸引器的电位与质量分析器中离子束的电位屏蔽。
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公开(公告)号：CN101233597A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200680028442.0
申请日：2006-06-02
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/302 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/026 , H01J2237/028 , H01J2237/30433 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供了一种用于减轻在离子注入期间的污染的系统、方法以及装置。本发明提供了离子源、终点台以及设置在离子源与终点台之间的质量分析器，其中离子束由离子源形成且经由质量分析器而行进至终点台。离子束收集组件包括：粒子收集器、粒子吸引器以及与质量分析器连接的屏蔽。其中，可操作粒子吸引器的电位，以将污染粒子吸引并限制在粒子收集器中，并且其中可操作该屏蔽，以将粒子吸引器的电位与质量分析器中离子束的电位屏蔽。
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公开(公告)号：CN1947326B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200580012131.0
申请日：2005-04-05
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J2237/20228 , H01J2237/31701 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供了一种用于扫描工件的往复驱动系统、方法和装置，其中包括带有可操作绕着第一轴线单独旋转的转子和定子的电动机，可操作使得工件相对于固定基准往复平移。可被转子驱动旋转的轴沿着第一轴线延伸，并且扫描臂可操作地耦接在轴上，其中该扫描臂可操作将工件支撑在其上。轴依靠电动机的圆柱形反向旋转可操作使得工件旋转，其中定子作为转子旋转的反作用质量。控制器还可操作控制转子和定子之间的电磁力，其中通常确定了转子和定子的旋转位置。
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公开(公告)号：CN101006545A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200580011936.3
申请日：2005-04-05
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J2237/20228 , H01J2237/31701 , H01L21/68707
Abstract: 提供了一种用于交互传送扫描臂上的工件通过离子束的方法，其中扫描臂可操作为耦合到包括可绕第一轴独立旋转的转子和定子的马达。施加在转子和定子之间的电磁作用力绕第一轴旋转转子并且沿第一扫描路径平移工件通过离子束。感应工件的位置并且控制转子和定子之间的电磁作用力以便反转工件沿第一扫描路径的动作方向，并且其中该控制至少部分基于所感应的工件位置。定子进一步反作用于转子的旋转绕第一轴旋转，特别是在工件的动作方向的反转室，因而作为转子、扫描臂和工件中的一个或多个的旋转的反作用质量。
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公开(公告)号：CN1961401B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200580017437.5
申请日：2005-04-05
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J2237/20228 , H01J2237/31701 , H01L21/68707
Abstract: 提供一种用于扫描通过离子束的工件的往复驱动系统和装置，其中包括可操作成单独围绕第一轴线旋转的转子和定子的马达可被操作成相对于离子束往复移动工件。由转子可转动地驱动的轴沿着第一轴线延伸并且扫描臂可操作地连接到该轴上，其中扫描臂可操作成支撑位于其上的工件。马达引起的该轴的圆形反向旋转可操作成使扫描臂转动，由此沿着第一扫描路径扫描通过离子束的工件，其中定子作为转子旋转的反应质量。控制器还可操作成控制转子和定子之间的电磁作用力，由此大体上确定转子和定子的旋转位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101238538A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200680028482.5
申请日：2006-06-02
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/302 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/026 , H01J2237/028 , H01J2237/30433 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于减轻与离子注入有关的污染的系统、方法、以及装置。本发明提供离子源、终点站、以及设置在离子源与终点站之间的质量分析器，其中由离子源形成离子束，且根据射束阻挡组件的位置，选择性地经由质量分析器将离子束传送至终点站。该射束阻挡组件选择性地防止离子束进入和/或射出质量分析器，因此将转换期间例如离子注入系统开机期间与不稳定离子源有关的污染最小化。
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公开(公告)号：CN101238538B
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN200680028482.5
申请日：2006-06-02
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/045 , H01J37/09 , H01J37/302 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/026 , H01J2237/028 , H01J2237/30433 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于减轻与离子注入有关的污染的系统、方法、以及装置。本发明提供离子源、终点站、以及设置在离子源与终点站之间的质量分析器，其中由离子源形成离子束，且根据射束阻挡组件的位置，选择性地经由质量分析器将离子束传送至终点站。该射束阻挡组件选择性地防止离子束进入和/或射出质量分析器，因此将转换期间例如离子注入系统开机期间与不稳定离子源有关的污染最小化。
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公开(公告)号：CN101006545B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200580011936.3
申请日：2005-04-05
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J2237/20228 , H01J2237/31701 , H01L21/68707
Abstract: 提供了一种用于交互传送扫描臂上的工件通过离子束的方法，其中扫描臂可操作为耦合到包括可绕第一轴独立旋转的转子和定子的马达。施加在转子和定子之间的电磁作用力绕第一轴旋转转子并且沿第一扫描路径平移工件通过离子束。感应工件的位置并且控制转子和定子之间的电磁作用力以便反转工件沿第一扫描路径的动作方向，并且其中该控制至少部分基于所感应的工件位置。定子进一步反作用于转子的旋转绕第一轴旋转，特别是在工件的动作方向的反转室，因而作为转子、扫描臂和工件中的一个或多个的旋转的反作用质量。
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公开(公告)号：CN1961401A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200580017437.5
申请日：2005-04-05
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J2237/20228 , H01J2237/31701 , H01L21/68707
Abstract: 提供一种用于扫描通过离子束的工件的往复驱动系统和装置，其中包括可操作成单独围绕第一轴线旋转的转子和定子的马达可被操作成相对于离子束往复移动工件。由转子可转动地驱动的轴沿着第一轴线延伸并且扫描臂可操作地连接到该轴上，其中扫描臂可操作成支撑位于其上的工件。马达引起的该轴的圆形反向旋转可操作成使扫描臂转动，由此沿着第一扫描路径扫描通过离子束的工件，其中定子作为转子旋转的反应质量。控制器还可操作成控制转子和定子之间的电磁作用力，由此大体上确定转子和定子的旋转位置。
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公开(公告)号：CN1947326A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580012131.0
申请日：2005-04-05
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J2237/20228 , H01J2237/31701 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供了一种用于扫描工件的往复驱动系统、方法和装置，其中包括带有可操作绕着第一轴线单独旋转的转子和定子的电动机，可操作使得工件相对于固定基准往复平移。可被转子驱动旋转的轴沿着第一轴线延伸，并且扫描臂可操作地耦接在轴上，其中该扫描臂可操作将工件支撑在其上。轴依靠电动机的圆柱形反向旋转可操作使得工件旋转，其中定子作为转子旋转的反作用质量。控制器还可操作控制转子和定子之间的电磁力，其中通常确定了转子和定子的旋转位置。
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