智能热控器件及其制备方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115872632A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211544394.8

    申请日:2022-12-04

    IPC分类号: C03C17/36

    摘要: 本申请涉及航天器热控技术领域,具体地,涉及一种智能热控器件及其制备方法。智能热控器件包括:依次层叠设置的基底层、石墨烯层、氧化钨层、钛酸镧锂层、氧化镍层、氧化铟锡层、第一氧化硅层和金属层和第二氧化硅层。智能热控器件制备方法包括:采用气相沉积法及化学转移方法在超白玻璃上制备石墨烯层;采用磁控溅射法在石墨烯层上依次制备氧化钨层、钛酸镧锂层、氧化镍层、氧化铟锡层、第一氧化硅层、金属层、第二氧化硅层。