公开(公告)号：CN112795899B

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202011613749.5

申请日：2020-12-30

申请人： 肇庆学院 ,  肇庆市创能电子科技有限公司

发明人： 许志勇 ,  苏志聪 ,  邰胜斌 ,  李艳梅 ,  王利萍 ,  陈庆华

IPC分类号： C23C16/40 ,  C23C16/509 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  C23C16/458

摘要： 本发明公开一种电子薄膜材料的制备装置及其制备工艺，该制备装置包括RF反应器、N2源、O2源、Ga源、Cu源、PC端和真空泵，该制备工艺包括以下步骤：S1、将基板清洗、吹干；S2、将基板固定，将沉积室内抽真空，然后充入N2至标准大气压；S3、在基板表面沉积Ga2O3薄膜；S4、在步骤S3沉积的Ga2O3薄膜表面沉积掺杂Cu的Ga2O3薄膜；S5、在步骤S4沉积的掺杂Cu的Ga2O3薄膜表面继续沉积Ga2O3薄膜，得到具有三层结构的薄膜；S6、薄膜取出退火。本发明制备装置可以促进前驱物通过电极的作用沉积在基板表面，提高前驱物沉积的速度及均匀程度，本发明制备工艺通过常压RF‑DBD等离子体辅助脉冲化学气相沉积，制备的电子薄膜致密性好，生长速率高，同时常温常压的工艺更加节省能源。

公开(公告)号：CN112795899A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202011613749.5

申请日：2020-12-30

申请人： 肇庆学院 ,  肇庆市创能电子科技有限公司

发明人： 许志勇 ,  苏志聪 ,  邰胜斌 ,  李艳梅 ,  王利萍 ,  陈庆华

IPC分类号： C23C16/40 ,  C23C16/509 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  C23C16/458

摘要： 本发明公开一种电子薄膜材料的制备装置及其制备工艺，该制备装置包括RF反应器、N2源、O2源、Ga源、Cu源、PC端和真空泵，该制备工艺包括以下步骤：S1、将基板清洗、吹干；S2、将基板固定，将沉积室内抽真空，然后充入N2至标准大气压；S3、在基板表面沉积Ga2O3薄膜；S4、在步骤S3沉积的Ga2O3薄膜表面沉积掺杂Cu的Ga2O3薄膜；S5、在步骤S4沉积的掺杂Cu的Ga2O3薄膜表面继续沉积Ga2O3薄膜，得到具有三层结构的薄膜；S6、薄膜取出退火。本发明制备装置可以促进前驱物通过电极的作用沉积在基板表面，提高前驱物沉积的速度及均匀程度，本发明制备工艺通过常压RF‑DBD等离子体辅助脉冲化学气相沉积，制备的电子薄膜致密性好，生长速率高，同时常温常压的工艺更加节省能源。

公开(公告)号：CN112974687A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202110194171.2

申请日：2021-02-20

申请人： 肇庆学院

发明人： 许志勇 ,  苏志聪 ,  邰胜斌 ,  陈庆华 ,  陈英俊 ,  贺晓东 ,  方超

IPC分类号： B21F11/00

摘要： 本发明公开一种NTC热敏电阻的加工装置及其方法，涉及NTC热敏电阻加工技术领域，包括放置仓，将需要加工的NTC热敏电阻从所述放置仓的上端放置于放置仓内；推动组件对处于放置仓内的NTC热敏电阻进行推动；靠近所述放置仓的侧端开放口处设置有台阶块；所述台阶块上设置有与NTC热敏电阻的两导线一一对应的第一夹持组件和第二夹持组件；使得NTC热敏电阻的导线能够按照设定的朝向进行直线化，避免NTC热敏电阻的两导线由于自身弯曲或者向其他方位偏斜，导致NTC热敏电阻的两导线剪切后的实际长度与设定规格不一。

公开(公告)号：CN112974687B

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN202110194171.2

申请日：2021-02-20

申请人： 肇庆学院

发明人： 许志勇 ,  苏志聪 ,  邰胜斌 ,  陈庆华 ,  陈英俊 ,  贺晓东 ,  方超

IPC分类号： B21F11/00

摘要： 本发明公开一种NTC热敏电阻的加工装置及其方法，涉及NTC热敏电阻加工技术领域，包括放置仓，将需要加工的NTC热敏电阻从所述放置仓的上端放置于放置仓内；推动组件对处于放置仓内的NTC热敏电阻进行推动；靠近所述放置仓的侧端开放口处设置有台阶块；所述台阶块上设置有与NTC热敏电阻的两导线一一对应的第一夹持组件和第二夹持组件；使得NTC热敏电阻的导线能够按照设定的朝向进行直线化，避免NTC热敏电阻的两导线由于自身弯曲或者向其他方位偏斜，导致NTC热敏电阻的两导线剪切后的实际长度与设定规格不一。

公开(公告)号：CN112757268A

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN202011630520.2

申请日：2020-12-31

申请人： 肇庆学院

发明人： 许志勇 ,  苏志聪 ,  邰胜斌 ,  陈荣荣 ,  陈庆华 ,  陈英俊

IPC分类号： B25J9/02 ,  B25J9/10 ,  B25J9/16

摘要： 本公开公开一种智能机械臂及其控制方法，属于机械臂领域，包括安装板组件、立柱组件和臂肩组件，其特征在于，所述安装板组件上安装有立柱组件，立柱组件上活动安装有臂肩组件，臂肩组件上活动安装有第一摆臂组件，第一摆臂组件上活动安装有第二摆臂组件，第二摆臂组件上活动安装有第三摆臂组件；通过在多个摆臂组件的连接位置，在一个摆臂上设置固定齿轮，在另一个摆臂上设有工作齿轮，工作齿轮上设有花键，转轴上固定有花键，转轴随着机械臂的运动而运动，如此可以通过改变转轴下端抵触的安装板底面的形态，来调整转轴的位置，如此可以调整工作齿轮上设有花键与转轴上固定的花键之间的配合关系来达到控制工作齿轮旋转控制机械臂运动的目的。