公开(公告)号：CN1670253A

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN200510068530.0

申请日：2005-03-19

Applicant: 联合工艺公司

Inventor： I·V·贝罗索夫 ,  A·I·库兹米切夫 ,  V·比伯 ,  R·L·梅门

IPC: C23C26/00 ,  C23C16/44 ,  C23C14/34

CPC classification number: C23C14/16 ,  B23P6/007 ,  C23C14/22 ,  C23C14/225 ,  C23C14/32 ,  C23C14/54 ,  C23C14/548 ,  F01D5/005 ,  F05D2230/313 ,  F05D2230/80 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/3137

Abstract: 为离子增强型物理汽相沉积增加溅射以沉积多组分材料。该工艺可用于沉积镀层和在Ti合金涡轮零件上沉积修复材料。该物理汽相沉积可以是离子增强型电子束物理汽相沉积。