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发明公开
静电放电保护装置及其制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN118039633A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202211413980.9

申请日：2022-11-11

Applicant: 联华电子股份有限公司

Inventor： 张智翔 , 赵美玲 , 蔡尹佳 , 唐天浩 , 苏冠丞

IPC: H01L27/02 , H01L27/06 , H01L21/8249

Abstract: 本发明提供一种静电放电保护装置及其制造方法，其中该静电放电保护装置包括：栅极结构、多个第一掺杂区以及多个第二掺杂区。栅极结构在衬底上。所述栅极结构包括主体部与多个延伸部，所述多个延伸部与所述主体部连接，且所述主体部与所述多个延伸部的延伸方向不同。多个第一掺杂区，在所述多个延伸部之间的所述衬底之中。多个第二掺杂区，在所述多个延伸部的两个外侧的所述衬底之中。所述多个第一掺杂区与所述多个第二掺杂区具有不同的导电型。

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