微机电系统麦克风
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110115048A

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201780080139.3

    申请日:2017-12-22

    Abstract: 一种微机电系统(MEMS)包括膜片,该膜片具有第一面和第二面。第一面暴露于环境压力。第二面包括从该第二面延伸的多个指状物。MEMS还包括背板,该背板包括多个空隙。多个指状物中的各个指状物延伸到多个空隙中的相应一个空隙中。MEMS还包括绝缘体,该绝缘体位于膜片的一部分与背板的一部分之间。膜片被构造为响应于环境压力的变化而相对于背板移动。

    集成电路和电容式换能器偏置电路

    公开(公告)号:CN113098262A

    公开(公告)日:2021-07-09

    申请号:CN202011504049.2

    申请日:2020-12-18

    Abstract: 本发明涉及集成电路和电容式换能器偏置电路。本公开描述了在麦克风组件中提供DC偏置电压的设备和方法。具体地,这种设备的一个实现方式可以在包括直流(DC)偏置电路的集成电路上实现。DC偏置电路可以联接至换能器并被配置成将DC偏置信号供应至换能器。DC偏置电路包括多级电荷泵和低通滤波器(LPF)电路。多级电荷泵包括制造有深沟槽隔离(DTI)的晶体管。

    用于MEMS设备的电介质梳
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112088539A

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN201980029967.3

    申请日:2019-03-20

    Abstract: 麦克风包括限定了腔的壳体、被定位在腔内的多个导体、被定位在腔内的至少一个电介质棒以及换能器振膜。导体被构造成在壳体保持固定的同时响应于压力变化而移动。第一导体响应于由大气压变化引起的压力变化而生成第一电信号。第二导体响应于由声活动引起的压力变化而生成第二电信号。电介质棒相对于腔是固定的,并且在压力变化下保持固定。电介质棒与导体中的至少一个导体相邻。响应于为大气压和/或声压的作用压力,换能器振膜在壳体上施加力,并且使导体的至少一部分相对于电介质棒移位。

    集成电路和电容式换能器偏置电路

    公开(公告)号:CN113098262B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202011504049.2

    申请日:2020-12-18

    Abstract: 本发明涉及集成电路和电容式换能器偏置电路。本公开描述了在麦克风组件中提供DC偏置电压的设备和方法。具体地,这种设备的一个实现方式可以在包括直流(DC)偏置电路的集成电路上实现。DC偏置电路可以联接至换能器并被配置成将DC偏置信号供应至换能器。DC偏置电路包括多级电荷泵和低通滤波器(LPF)电路。多级电荷泵包括制造有深沟槽隔离(DTI)的晶体管。

    麦克风及用于该麦克风的控制电路

    公开(公告)号:CN112088539B

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN201980029967.3

    申请日:2019-03-20

    Abstract: 本申请提供一种麦克风及用于该麦克风的控制电路。麦克风包括限定了腔的壳体、被定位在腔内的多个导体、被定位在腔内的至少一个电介质棒以及换能器振膜。导体被构造成在壳体保持固定的同时响应于压力变化而移动。第一导体响应于由大气压变化引起的压力变化而生成第一电信号。第二导体响应于由声活动引起的压力变化而生成第二电信号。电介质棒相对于腔是固定的,并且在压力变化下保持固定。电介质棒与导体中的至少一个导体相邻。响应于为大气压和/或声压的作用压力,换能器振膜在壳体上施加力,并且使导体的至少一部分相对于电介质棒移位。

    微机电系统和微机电系统麦克风封装物

    公开(公告)号:CN110115048B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201780080139.3

    申请日:2017-12-22

    Abstract: 微机电系统和微机电系统麦克风封装物。一种微机电系统(MEMS)包括膜片,该膜片具有第一面和第二面。第一面暴露于环境压力。第二面包括从该第二面延伸的多个指状物。MEMS还包括背板,该背板包括多个空隙。多个指状物中的各个指状物延伸到多个空隙中的相应一个空隙中。MEMS还包括绝缘体,该绝缘体位于膜片的一部分与背板的一部分之间。膜片被构造为响应于环境压力的变化而相对于背板移动。

    集成电路
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215772915U

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202023080965.6

    申请日:2020-12-18

    Abstract: 本实用新型涉及集成电路。本实用新型描述了在麦克风组件中提供DC偏置电压的设备和方法。具体地,这种设备的一个实现方式可以在包括直流(DC)偏置电路的集成电路上实现。DC偏置电路可以联接至换能器并被配置成将DC偏置信号供应至换能器。DC偏置电路包括多级电荷泵和低通滤波器(LPF)电路。多级电荷泵包括制造有深沟槽隔离(DTI)的晶体管。

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