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公开(公告)号：CN119767218A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411351715.1
申请日：2024-09-26
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 用于微机电系统管芯的压力阀。一种微机电系统管芯包括：具有开口的衬底；围绕所述开口的周边附接到所述衬底以覆盖所述开口的振膜，所述振膜具有孔；以及与所述振膜分隔开并设置在所述振膜的与所述衬底相反的一侧的背板，所述背板包括从附接端到自由端向所述孔延伸的插塞。在一实施方式中，插塞的自由端具有比孔小的面积，并且插塞通过间隙与振膜分隔开，其中，间隙的尺寸确定通过孔跨过振膜的流体连通水平。
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公开(公告)号：CN110115048A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201780080139.3
申请日：2017-12-22
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
IPC: H04R19/00
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)包括膜片，该膜片具有第一面和第二面。第一面暴露于环境压力。第二面包括从该第二面延伸的多个指状物。MEMS还包括背板，该背板包括多个空隙。多个指状物中的各个指状物延伸到多个空隙中的相应一个空隙中。MEMS还包括绝缘体，该绝缘体位于膜片的一部分与背板的一部分之间。膜片被构造为响应于环境压力的变化而相对于背板移动。
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公开(公告)号：CN108605181A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780008700.7
申请日：2017-01-31
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 一种麦克风包括：第一微机电系统(MEMS)马达(202)，该第一MEMS马达(202)包括第一振膜(204)和第一背板(206)；以及第二MEMS马达(222)，该第二MEMS马达(222)包括第二振膜(224)和第二背板(226)。所述第一振膜(204)根据第一电压相对于所述第一背板(206)被电偏置，所述第二振膜(224)根据第二电压相对于所述第二背板(226)被电偏置，并且所述第一电压的大小不同于所述第二电压的大小。
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公开(公告)号：CN110800050B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201880042734.2
申请日：2018-06-26
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
IPC: G10L19/26
Abstract: 麦克风组件包括声换能器和被配置为从声换能器接收输出信号的音频信号电路。输出信号包括音频信号分量和跟踪信号分量。音频信号分量表示由声换能器检测到的声信号，并且跟踪信号分量基于施加到声换能器的输入跟踪信号。音频信号电路包括：被配置为将输出信号转换为数字信号的模数转换器，被配置为将来自数字信号的跟踪信号分量与音频信号分量分离开的提取电路，被配置为根据跟踪信号分量估计跟踪信号包络的包络估计电路，以及被配置为使用跟踪信号包络来减少音频信号分量中的失真的信号校正电路。
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公开(公告)号：CN112823532B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201980065029.9
申请日：2019-10-04
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 一种麦克风设备包括基底和微机电系统(MEMS)换能器以及设置在基底上的集成电路(IC)。该麦克风设备还包括盖，该盖安装在基底上并覆盖MEMS换能器和IC。MEMS换能器包括附接至基板的表面的振膜以及安装在基板上并与振膜成间隔开的关系的背板。振膜沿着振膜的外围的至少一部分附接至基板的表面。振膜可以包括氮化硅绝缘层和面向背板的导电层的导电层。MEMS换能器可以包括设置在振膜的至少一部分与基板之间的外围支撑结构。振膜可以包括一个或更多个均压孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112189347A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201980031965.8
申请日：2019-05-13
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 一种麦克风组件包括基板以及被设置在该基板上的外壳。端口被限定在基板或外壳中的一者中。声换能器被配置成响应于声活动而生成电信号。声换能器包括隔膜，该隔膜将麦克风组件的前腔容积与后腔容积分隔开。前腔容积与端口流体连通，并且后腔容积填充有第一气体，第一气体的热导率低于空气的热导率。集成电路电联接至声换能器并且被配置成从声换能器接收电信号。对前腔容积或后腔容积中的至少一者进行限定的边界的至少一部分被配置成具有顺应性，以便允许压力均衡。第一气体不同于第二气体。
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公开(公告)号：CN107404699B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201710338453.9
申请日：2017-05-15
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统装置及用于其的背板。用于微机电系统(MEMS)装置的系统和设备。MEMS装置包括隔膜和背板，该背板与隔膜间隔开一定距离，在它们之间形成有气隙。所述背板包括面向隔膜的第一表面和背对隔膜的相反的第二表面。背板的第一表面和相反的第二表面协同限定延伸穿过背板的多个通孔，所述多个通孔允许来自气隙的空气从其流过。所述多个通孔中的每一个包括沿着第一表面设置的第一孔、沿着相反的第二表面设置的第二孔、以及在第一表面与相反的第二表面之间延伸的侧壁。所述第一孔和所述第二孔具有不同的尺寸。
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公开(公告)号：CN112788514B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202011207581.8
申请日：2020-11-03
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 本发明涉及一种具有非圆形周边释放孔的声学换能器，该声学换能器包括换能器基板，该换能器基板具有穿过其限定的孔口。至少一个隔膜设置在换能器基板上，位于孔口的上方。背板设置在换能器基板上并且与至少一个隔膜轴向地间隔开。周边支撑结构在背板的径向外周边处周向地设置在至少一个隔膜和背板之间。多个周边释放孔被限定为周向地穿过至少一个隔膜或背板中的至少一者，靠近周边支撑结构并且处在周边支撑结构的径向内侧，并且多个周边释放孔的至少一部分限定非圆形形状。
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公开(公告)号：CN112840676B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201980065534.3
申请日：2019-10-04
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 一种响应于声学信号来生成电信号的声学换能器和麦克风组件，该声学换能器包括第一振膜，在该第一振膜中形成有第一皱纹。在第二振膜中形成有第二皱纹，并且第二振膜与第一振膜间隔开，使得在第二振膜与第一振膜之间形成空腔，该空腔的压力低于大气压。在第一振膜与第二振膜之间设置有背板。一个或更多个支柱从第一振膜和第二振膜中的至少一个振膜起朝着另一振膜延伸穿过背板。所述一个或更多个支柱防止第一振膜和第二振膜中的各个振膜因第一振膜和/或第二振膜朝着背板移动而接触到背板。第一皱纹和第二皱纹中的各个皱纹远离背板，分别从第一振膜和第二振膜起向外突出。
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公开(公告)号：CN112840676A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980065534.3
申请日：2019-10-04
Applicant: 美商楼氏电子有限公司
Abstract: 一种响应于声学信号来生成电信号的声学换能器，该声学换能器包括第一振膜，在该第一振膜中形成有第一皱纹。在第二振膜中形成有第二皱纹，并且第二振膜与第一振膜间隔开，使得在第二振膜与第一振膜之间形成空腔，该空腔的压力低于大气压。在第一振膜与第二振膜之间设置有背板。一个或更多个支柱从第一振膜和第二振膜中的至少一个振膜起朝着另一振膜延伸穿过背板。所述一个或更多个支柱防止第一振膜和第二振膜中的各个振膜因第一振膜和/或第二振膜朝着背板移动而接触到背板。第一皱纹和第二皱纹中的各个皱纹远离背板，分别从第一振膜和第二振膜起向外突出。
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