存储器胞元和存储器阵列

    公开(公告)号:CN109219883B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN201780030983.5

    申请日:2017-07-31

    Abstract: 一些实施例包含一种具有第一与第二晶体管,和相对于所述第一与第二晶体管竖直地位移的电容器的存储器胞元。所述电容器具有与所述第一晶体管的源极/漏极区域电耦合的第一节点、与所述第二晶体管的源极/漏极区域电耦合的第二节点和所述第一节点与第二节点之间的电容器介电材料。一些实施例包含一种具有相对于彼此竖直地位移的第一与第二晶体管和所述第一晶体管与第二晶体管之间的电容器的存储器胞元。所述电容器具有与所述第一晶体管的源极/漏极区域电耦合的第一节点、与所述第二晶体管的源极/漏极区域电耦合的第二节点和所述第一节点与第二节点之间的电容器介电材料。

    用于形成垂直晶体管阵列和存储器单元阵列的方法

    公开(公告)号:CN114121801A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202110989713.5

    申请日:2021-08-26

    Inventor: G·杨

    Abstract: 本申请案涉及用于形成垂直晶体管阵列和存储器单元阵列的方法。一种用于形成垂直晶体管阵列的方法,其包括形成支柱,所述支柱个别地包括上源极/漏极区、在所述上源极/漏极区垂直下方的沟道区,和在所述上源极/漏极区上方的牺牲材料。中介材料围绕所述支柱中的个别者的所述牺牲材料。所述中介材料和所述牺牲材料包括彼此不同的组合物。水平伸长且间隔的导电栅极线可操作地个别形成在所述个别支柱的所述沟道区旁边。移除所述牺牲材料以暴露所述个别支柱的所述上源极/漏极区,且从而在所述中介材料中所述个别支柱的所述上源极/漏极区正上方形成开口。

    存储器胞元和存储器阵列

    公开(公告)号:CN109219883A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201780030983.5

    申请日:2017-07-31

    Abstract: 一些实施例包含一种具有第一与第二晶体管,和相对于所述第一与第二晶体管竖直地位移的电容器的存储器胞元。所述电容器具有与所述第一晶体管的源极/漏极区域电耦合的第一节点、与所述第二晶体管的源极/漏极区域电耦合的第二节点和所述第一节点与第二节点之间的电容器介电材料。一些实施例包含一种具有相对于彼此竖直地位移的第一与第二晶体管和所述第一晶体管与第二晶体管之间的电容器的存储器胞元。所述电容器具有与所述第一晶体管的源极/漏极区域电耦合的第一节点、与所述第二晶体管的源极/漏极区域电耦合的第二节点和所述第一节点与第二节点之间的电容器介电材料。

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