公开(公告)号：CN102311091B

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201110183266.0

申请日：2011-07-01

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M.施通贝尔 ,  F.沙茨

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00 ,  B81B7/04 ,  A61B17/20 ,  A61M37/00

CPC classification number: A01K11/005 ,  A61M37/0015 ,  A61M37/0076 ,  A61M2037/0046 ,  A61M2037/0053 ,  A61M2037/0061 ,  B81B2201/055 ,  B81B2203/0361 ,  B81C1/00111 ,  B81C2201/0132

Abstract: 本发明提供一种微型针装置的制造方法和一种相应的微型针装置，及其应用。本方法具有下述步骤：在基质（1）上形成具有栅格支架（100’、110’；100’’、110’’；100’’’、110’’’），具有相应的栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）和位于中间的栅格开口（10’b；10’’b；10’’’b）的栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）；在使用蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）的情况下在基质（1）上实施形成微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’）的蚀刻工序；取下蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）。栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）在栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）的至少一部分上具有平面的加强区域（115’；115’’a；115’’b），所述栅格交叉区域超出栅格接片（100’、110’；100’’、110’’；100’’’、110’’’）地延伸。

公开(公告)号：CN102311091A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201110183266.0

申请日：2011-07-01

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M.施通贝尔 ,  F.沙茨

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00 ,  B81B7/04 ,  A61B17/20 ,  A61M37/00

CPC classification number: A01K11/005 ,  A61M37/0015 ,  A61M37/0076 ,  A61M2037/0046 ,  A61M2037/0053 ,  A61M2037/0061 ,  B81B2201/055 ,  B81B2203/0361 ,  B81C1/00111 ,  B81C2201/0132

Abstract: 本发明提供一种微型针装置的制造方法和一种相应的微型针装置，及其应用。本方法具有下述步骤：在基质（1）上形成具有栅格支架（100′、110′；100″、110″；100″′、110″′），具有相应的栅格交叉区域（10′a；10″a；10″′a）和位于中间的栅格开口（10′b；10″b；10″′b）的栅格形的蚀刻掩模（10′；10″；10″′）；在使用蚀刻掩模（10′；10″；10″′；11″′；12″′；13″′；14″′）的情况下在基质（1）上实施形成微型针装置（20′；20″；20″′；21″′；22″′）的蚀刻工序；取下蚀刻掩模（10′；10″；10″′；11″′；12″′；13″′；14″′）。栅格形的蚀刻掩模（10′；10″；10″′）在栅格交叉区域（10’a；10″a；10″′a）的至少一部分上具有平面的加强区域（115′；115″a；115″b），所述栅格交叉区域超出栅格接片（100′、110′；100″、110″；100″′、110″′）地延伸。