-
公开(公告)号：CN114450248B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202080066834.6
申请日：2020-09-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于压力和惯性传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有衬底(10)、撑开的膜片(12)和布置在所述内部容积(16)中的振动质量(14)，所述衬底具有衬底表面(10a)，所述膜片具有朝向所述衬底表面(10a)定向的膜片内侧(12a)和远离所述衬底表面(10a)指向的膜片外侧(12b)，其中，所述膜片内侧(12a)邻接于内部容积(16)，在所述内部容积中封锁有参考压力(p0)，并且其中，所述膜片(12)借助存在于其膜片外侧(12b)上的压力(p)与所述参考压力(p0)之间的压力差能够被翘曲，其中，在所述膜片内侧(10a)上突出的且伸入到所述内部容积(16)中的传感器电极(18)借助所述膜片(12)的翘曲相对于所述衬底(10)能够被调整。同样地，本发明涉及一种压力和惯性传感器设备。另外，本发明涉及一种用于制造用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。
-
2.发明公开公开(公告)号：CN106458571A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580029574.4
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , H01L23/13 , H01L23/49827 , H01L2224/16225
Abstract: (331)仅布置在边缘区段(360)上。本发明提出一种用于在垂直混合集成元器件的结构中减小由装配引起的机械应力的内插器方案，该内插器方案能够实现元器件在元器件载体上的可靠的机械固定并且节省空间地电接通元器件。该内插器(301)包括面状的载体衬底(320)，在该正面布线平面中构造由用于在内插器(301)上装配元器件(100)的正面连接垫(321)，该载体衬底还具有至少一个背面布线平面(330)，在该背面布线平面中构造有用于在元器件载体(110)上的装配的背面连接垫(331)，其中，正面连接垫(321)和背面连接垫(331)相互错开地布置，该载体衬底还具有用于电连接至少一个正面布线平面(320)和至少一个背面布线平面(330)的电镀通孔(340)。根据本发明的载体衬底(310)包括至少一个边缘区段(360)和至少一个中间区段(350)，它们通过应力去耦结构(371)至(310)，该载体衬底具有至少一个正面布线平面
-
公开(公告)号：CN102165322A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137969.0
申请日：2009-08-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802
Abstract: 本发明涉及一种电容式微机械加速度传感器，具有基底(10)和安置在该基底(10)上的微机械功能层，其中，在该微机械功能层中安置一振动质量(20)、一悬挂装置(40)和一些固定电极(30，35)。这些固定电极30或35相继地在悬挂装置(40)的第一或第二侧(110，120)借助掩埋的导线组(50，55)相互电连接。这些固定电极(30，35)在悬挂装置(40)的第一和第二侧(110，120)之间借助微机械功能层中的第一和第二导体(300，350)相互连接。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113490636A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202080018082.6
申请日：2020-02-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。微机械设备构型有衬底(S)，衬底具有前侧(VS)和后侧(RS)；其中，在前侧(VS)上在横向上间隔开地形成用于感测外部加速度和/或旋转的具有惯性结构(IE)的惯性传感器区域(SB1)和用于感测外部压力(Pa)的具有膜片区域(M)的压力传感器区域(SB2)；第二微机械功能层(P2)，通过第二微机械功能层形成膜片区域(M)；施加在第二微机械功能层(P2)上的第三微机械功能层(P3)；其中，惯性结构(IS)由第二微机械功能层和第三微机械功能层(P2、P3)形成；和罩装置(K)，在惯性传感器区域(SB1)中在第一腔(C1)中包含预先确定的第一参考压力(PP1)；并且在膜片区域(M)下方形成第二腔(C2)。
-
公开(公告)号：CN102165322B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200980137969.0
申请日：2009-08-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802
Abstract: 本发明涉及一种电容式微机械加速度传感器，具有基底(10)和安置在该基底(10)上的微机械功能层，其中，在该微机械功能层中安置一振动质量(20)、一悬挂装置(40)和一些固定电极(30，35)。这些固定电极30或35相继地在悬挂装置(40)的第一或第二侧(110，120)借助掩埋的导线组(50，55)相互电连接。这些固定电极(30，35)在悬挂装置(40)的第一和第二侧(110，120)之间借助微机械功能层中的第一和第二导体(300，350)相互连接。
-
公开(公告)号：CN101842709A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200880114316.6
申请日：2008-09-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01C19/56
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802
Abstract: 本发明提出了一种微机械结构元件(1)，其中，该微机械结构元件具有一些固定电极(3)和一个振动质量(19)，该振动质量通过悬挂元件(5)与载体基板(18)连接并且可相对于该载体基板运动，该振动质量具有反电极，这些反电极通过第一导电连接结构(8)相互连接，并且所述固定电极此外具有测量电极(7)和解耦的电极，其中，这些测量电极设置成作为电分析处理器件起作用，而与所述解耦的电极(6)相对置的所述反电极(4)设置成作为改变频带的机械元件起作用。
-
公开(公告)号：CN113490636B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202080018082.6
申请日：2020-02-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。微机械设备构型有衬底(S)，衬底具有前侧(VS)和后侧(RS)；其中，在前侧(VS)上在横向上间隔开地形成用于感测外部加速度和/或旋转的具有惯性结构(IE)的惯性传感器区域(SB1)和用于感测外部压力(Pa)的具有膜片区域(M)的压力传感器区域(SB2)；第二微机械功能层(P2)，通过第二微机械功能层形成膜片区域(M)；施加在第二微机械功能层(P2)上的第三微机械功能层(P3)；其中，惯性结构(IS)由第二微机械功能层和第三微机械功能层(P2、P3)形成；和罩装置(K)，在惯性传感器区域(SB1)中在第一腔(C1)中包含预先确定的第一参考压力(PP1)；并且在膜片区域(M)下方形成第二腔(C2)。
-
公开(公告)号：CN114450248A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202080066834.6
申请日：2020-09-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于压力和惯性传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有衬底(10)、撑开的膜片(12)和布置在所述内部容积(16)中的振动质量(14)，所述衬底具有衬底表面(10a)，所述膜片具有朝向所述衬底表面(10a)定向的膜片内侧(12a)和远离所述衬底表面(10a)指向的膜片外侧(12b)，其中，所述膜片内侧(12a)邻接于内部容积(16)，在所述内部容积中封锁有参考压力(p0)，并且其中，所述膜片(12)借助存在于其膜片外侧(12b)上的压力(p)与所述参考压力(p0)之间的压力差能够被翘曲，其中，在所述膜片内侧(10a)上突出的且伸入到所述内部容积(16)中的传感器电极(18)借助所述膜片(12)的翘曲相对于所述衬底(10)能够被调整。同样地，本发明涉及一种压力和惯性传感器设备。另外，本发明涉及一种用于制造用于压力和惯性传感器设备的微机械构件的制造方法。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.018 seconds)
