公开(公告)号：CN113885125A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202110748803.5

申请日：2021-07-02

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： 王宁 ,  A·许贝尔 ,  C·谢林 ,  J·N·卡斯帕斯 ,  H·屈佩尔斯 ,  S·品特尔

IPC: G02B6/12

Abstract: 平面内MEMS光开关。一种光开关包括：由基板支撑的第一总线波导、经由弹簧悬挂在第一总线波导上方的光学天线、以及将基板与光学天线耦合并且被配置成控制光学天线相对于第一总线波导的方位的叉指电极。当施加到叉指电极的电压差小于下阈值时，光学天线处于偏离第一总线波导的第一方位，当施加到叉指电极的电压差大于上阈值时，光学天线处于偏离第一总线波导的第二方位，并且第二方位处的偏移大于第一方位处的偏移。

公开(公告)号：CN113960561A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202110748802.0

申请日：2021-07-02

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： 王宁 ,  H·屈佩尔斯 ,  S·品特尔 ,  A·许贝尔 ,  C·谢林 ,  J·N·卡斯帕斯

IPC: G01S7/481 ,  G01S7/483 ,  G01S7/491 ,  G01S17/931

Abstract: 单芯片激光雷达模块包括激光器、光电二极管、光子集成电路(PIC)、透镜和外壳。该激光器被配置成输出预定波长的光。该光电二极管被配置成检测预定波长的光能。该PIC与激光器和光电二极管耦合，并且与MEMS开关阵列集成，该MEMS开关阵列包括被配置成衍射预定波长的光的光学天线。该透镜被布置在PIC上方。该外壳被配置成包围激光器、光电二极管和PIC，并且具有被配置成使与PIC相关联的光通过的窗口。

公开(公告)号：CN113885123A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202110748785.0

申请日：2021-07-02

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： 王宁 ,  A·许贝尔 ,  C·谢林 ,  J·N·卡斯帕斯 ,  H·屈佩尔斯 ,  S·品特尔

IPC: G02B6/12

Abstract: 具有悬臂耦合器的MEMS光开关。一种光开关包括：由基板支撑的总线波导、悬挂在总线波导上方的耦合波导、与耦合波导耦合并且与耦合波导相邻的反应电极、由基板支撑并且被配置成经由反应电极控制耦合波导相对于总线波导的方位的致动电极、以及与耦合波导耦合并且设置在距总线波导固定距离处的光学天线。当反应电极与致动电极之间的电压差小于下阈值时，耦合波导被定位在距总线波导第一距离处，当反应电极与致动电极之间的电压差大于上阈值时，耦合波导被定位在距总线波导第二距离处，并且第二距离小于第一距离。