用于运行显微光谱仪的方法和显微光谱仪

    公开(公告)号:CN109891204B

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN201780067294.1

    申请日:2017-10-02

    Abstract: 本发明涉及一种用于运行显微光谱仪(102)的方法,其中所述方法具有如下步骤:在使用显微光谱仪(102)的可调制的发射装置(106)的情况下,以具有第一脉冲特性(118)的第一频谱强度分布(120)和至少一个具有第二脉冲特性(122)的第二频谱强度分布(124)来照射所要测量的测量对象(130);在使用显微光谱仪(102)的可调谐的滤波装置(108)的情况下,使由测量对象(130)重新发射的频谱反射强度分布(132)中的分配给第一频谱强度分布(120)的第一波长范围(134)和分配给第二频谱强度分布(124)的第二波长范围(136)通过;在使用显微光谱仪(102)的探测装置(110)的情况下,在探测信号(138)中描绘第一波长范围(134)和第二波长范围(136)的辐射强度;以及在使用第一脉冲特性(118)和第二脉冲特性(122)的情况下对探测信号(138)进行解调,以便获得分配给第一波长范围(134)的第一强度值(140)和分配给第二波长范围(136)的第二强度值(142)。

    用于运行显微光谱仪的方法和显微光谱仪

    公开(公告)号:CN109891204A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201780067294.1

    申请日:2017-10-02

    Abstract: 本发明涉及一种用于运行显微光谱仪(102)的方法,其中所述方法具有如下步骤:在使用显微光谱仪(102)的可调制的发射装置(106)的情况下,以具有第一脉冲特性(118)的第一频谱强度分布(120)和至少一个具有第二脉冲特性(122)的第二频谱强度分布(124)来照射所要测量的测量对象(130);在使用显微光谱仪(102)的可调谐的滤波装置(108)的情况下,使由测量对象(130)重新发射的频谱反射强度分布(132)中的分配给第一频谱强度分布(120)的第一波长范围(134)和分配给第二频谱强度分布(124)的第二波长范围(136)通过;在使用显微光谱仪(102)的探测装置(110)的情况下,在探测信号(138)中描绘第一波长范围(134)和第二波长范围(136)的辐射强度;以及在使用第一脉冲特性(118)和第二脉冲特性(122)的情况下对探测信号(138)进行解调,以便获得分配给第一波长范围(134)的第一强度值(140)和分配给第二波长范围(136)的第二强度值(142)。

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