公开(公告)号：CN1328634A

公开(公告)日：2001-12-26

申请号：CN99808621.5

申请日：1999-05-13

申请人： 结晶及技术有限公司

发明人： 叶夫根尼·因维维奇·吉瓦吉佐夫 ,  L·N·奥波伦斯卡亚 ,  A·N·斯特帕诺瓦 ,  E·S·马施科瓦 ,  M·E·吉瓦吉佐夫 ,  I·V·兰杰楼

IPC分类号： G01B7/34 ,  G01N27/00

CPC分类号： G01Q70/16 ,  C30B11/00 ,  C30B11/12 ,  C30B29/62 ,  G01Q70/12 ,  Y10S117/902 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/875

摘要： AFM/STM探针基于通过蒸汽－液体－固体(VSL)机制生长的晶须。由绝缘体上外延硅结构制备沿着晶面(111)取向的硅悬臂,所述绝缘体上外延硅结构含有在基片(100)上的一个薄层(111)并具有SiO2夹层。在去除在上述生长机制中所固有的固化合金小球时,弄尖晶须,并以这样一种方式形成探针。通过上述机制在悬臂上所生长的晶须的剖面在生长过程期间可被控制改变,这使得可制备对于制备所述探针来说最佳的台阶形状的探针。还可形成具有展开部/收缩部的晶须,这些展开部/收缩部对于探针制备来说是重要的,该探针适于研究粗糙的表面、复杂的腔体、半导体微电子学中典型的槽、等等。