公开(公告)号：CN108321073A

公开(公告)日：2018-07-24

申请号：CN201810372058.7

申请日：2015-04-29

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 朴胜振 ,  成晓星 ,  元净旻 ,  淋斗镐

IPC: H01J37/32 ,  C23C16/505

CPC classification number: H01J37/3211 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32174

Abstract: 提供一种基板处理装置，其包括过程室、支撑单元、气体供应单元和等离子体生成单元。等离子体生成单元可以包括：电源；初级天线，其通过第一线路连接至高频电源；次级天线，其通过在第一接头处从第一线路分叉的第二线路连接至高频电源，初级天线和次级天线与电源并行连接；第三电抗器件，其通过在第二接头处从第二线路分叉的第三线路连接至电源，次级天线和第三电抗器件与电源并行连接；以及可变电抗器件，其安装在定位在第二接头和次级天线之间的第二线路上。

公开(公告)号：CN105023823A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201510213842.X

申请日：2015-04-29

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 朴胜振 ,  成晓星 ,  元净旻 ,  淋斗镐

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/3211 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32174

Abstract: 提供一种基板处理装置，其包括过程室、支撑单元、气体供应单元和等离子体生成单元。等离子体生成单元可以包括：电源；初级天线，其通过第一线路连接至高频电源；次级天线，其通过在第一接头处从第一线路分叉的第二线路连接至高频电源，初级天线和次级天线与电源并行连接；第三电抗器件，其通过在第二接头处从第二线路分叉的第三线路连接至电源，次级天线和第三电抗器件与电源并行连接；以及可变电抗器件，其安装在定位在第二接头和次级天线之间的第二线路上。