公开(公告)号：CN118067183A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202311554696.8

申请日：2023-11-20

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 吴埈昊 ,  金宰弘 ,  金光燮 ,  李钟民 ,  宋延彻 ,  朴永镐 ,  柳志勋 ,  林佲俊 ,  孙相晛 ,  愼重喆

IPC: G01D21/02 ,  G01D7/00 ,  G01D7/02 ,  G01J5/48 ,  G01R29/12 ,  G01R29/24

Abstract: 提供一种可视化温度和静电量的装置，其中所述装置被布置为邻近于基板处理液提供单元，所述基板处理液提供单元包括提供传送基板处理液的管道以及用于存储所述基板处理液的处理液储存模块。所述装置包括：拍摄单元，配置以通过拍摄测量目标的多个区域来生成多个部分捕获图像；静电传感器，配置以测量所述测量目标的多个区域的静电水平；热成像相机，配置以测量所述测量目标的多个区域的温度；处理器，配置以将所述多个部分捕获图像彼此组合来生成完整图像；以及输出单元，配置以输出可视化图像。

公开(公告)号：CN118051273A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202311526678.9

申请日：2023-11-16

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 孙相睍 ,  宋延徹 ,  林佲俊 ,  柳志勳 ,  金光燮 ,  李锺民 ,  朴永镐 ,  吴埈昊 ,  慎重喆 ,  曹贤哲

IPC: G06F9/445 ,  G06F9/48 ,  G06F9/50

Abstract: 公开了在其中连接有多个计算设备的集群计算环境中使用软件模块化的计算资源管理系统以及使用软件模块化的计算资源管理方法，所述多个计算设备包括在每个计算设备上运行的应用进程和配置成独立于应用进程运行并对应用进程执行任务处理的算法处理进程，计算资源管理系统包括：任务管理系统，配置成从每个计算设备接收来自需要任务的应用进程的任务请求消息；进程管理系统，配置成确认连接在集群计算环境中的多个计算设备的算法处理进程，并确定是否存在请求任务的应用进程将要被分配到的处于空闲状态的算法处理进程；以及执行管理系统，配置成确认其任务被算法处理进程执行的应用进程的结果。