公开(公告)号：CN118067183A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202311554696.8

申请日：2023-11-20

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 吴埈昊 ,  金宰弘 ,  金光燮 ,  李钟民 ,  宋延彻 ,  朴永镐 ,  柳志勋 ,  林佲俊 ,  孙相晛 ,  愼重喆

IPC: G01D21/02 ,  G01D7/00 ,  G01D7/02 ,  G01J5/48 ,  G01R29/12 ,  G01R29/24

Abstract: 提供一种可视化温度和静电量的装置，其中所述装置被布置为邻近于基板处理液提供单元，所述基板处理液提供单元包括提供传送基板处理液的管道以及用于存储所述基板处理液的处理液储存模块。所述装置包括：拍摄单元，配置以通过拍摄测量目标的多个区域来生成多个部分捕获图像；静电传感器，配置以测量所述测量目标的多个区域的静电水平；热成像相机，配置以测量所述测量目标的多个区域的温度；处理器，配置以将所述多个部分捕获图像彼此组合来生成完整图像；以及输出单元，配置以输出可视化图像。