公开(公告)号：CN118282187A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202311783323.8

申请日：2023-12-22

Applicant: 细美事有限公司 ,  韩国科学技术院

Inventor： 张爱仙 ,  李贞焕 ,  金宰贤 ,  李知昊 ,  曹圭亨

IPC: H02M1/34 ,  H05H1/46 ,  H02M1/44 ,  H02M3/158

Abstract: 提供了一种缓冲电路和等离子体发生器。所述缓冲电路可以包括：第一缓冲二极管，连接到与DC‑DC转换器连接的第一节点；缓冲电容器，连接在所述第一缓冲二极管和与所述DC‑DC转换器连接的第二节点之间；缓冲电压源，连接到所述第一节点；缓冲电感器，连接到所述第一缓冲二极管和所述缓冲电容器之间的第三节点；以及第二缓冲二极管，连接在所述缓冲电感器和所述缓冲电压源之间。

公开(公告)号：CN117594406A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310532831.2

申请日：2023-05-11

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 张爱仙 ,  李贞焕 ,  裵珉槿

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 本公开涉及一种控制等离子体处理装置的方法、以及用于执行该方法的等离子体处理装置。根据本公开的一个实施例，一种控制等离子体处理装置的方法包括：从高频电源向下电极供应具有正弦波的电力以产生等离子体；以及从高频电源向下电极供应电力，以控制所产生的等离子体中的离子，并且当设置在下电极上的晶片的电压在相位区域中具有负峰值时，通过DC电源将负DC电压输入到聚焦环。