公开(公告)号：CN104678473A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201410670274.1

申请日：2014-11-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 佐野朗 ,  牧垣奉宏 ,  樱井和徳

IPC: G02B5/28

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B5/0825 ,  G02B5/201

Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备多个滤波器部(50)，所述滤波器部(50)具备：相互相对的一对反射膜(54、55)、以及变更一对反射膜(54、55)的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部(50)相对于与反射膜(54、55)的反射面平行的配置面二维配置，从沿配置面的规定方向(第一方向(V))观察时，在沿与规定方向(第一方向(V))交叉的第一假想直线(L1)以规定的间隔相邻的两个反射膜(54、55)之间，配置于与第一假想直线(L1)上不同的位置的其他滤波器部(50C)的反射膜(54、55)与第一假想直线(L1)上的反射膜(54、55)的一部分重叠并且无间隙地配置。

公开(公告)号：CN1721188A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510078001.9

申请日：2005-06-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大谷和史 ,  牧垣奉宏

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1632 ,  B41J2/14314 ,  B41J2/16 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1637 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14411 ,  H02N1/006

Abstract: 本发明提供一种可以在电极基板上以简易的工序高精度地形成各种形状的凹部的电极基板的制造方法以及电极基板、静电致动器、液滴喷吐头、液滴喷吐装置。本发明的电极基板的制造方法，具有：通过在玻璃基板(4a)上冲压接触压模来冲压成形，形成凹部(41)的第1工序，和在凹部(41)的底面上设置电极(42)的第2工序。优选上述冲压成形是在将所述基板加热到350～800℃的温度的状态下进行的。优选构成玻璃基板(4a)的玻璃的热膨胀系数为20×10－7～90×10－7℃－1。

公开(公告)号：CN100379563C

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200510078001.9

申请日：2005-06-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大谷和史 ,  牧垣奉宏

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1632 ,  B41J2/14314 ,  B41J2/16 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1637 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14411 ,  H02N1/006

Abstract: 本发明提供一种可以在电极基板上以简易的工序高精度地形成各种形状的凹部的电极基板的制造方法以及电极基板、静电致动器、液滴喷吐头、液滴喷吐装置。本发明的电极基板的制造方法，具有：通过在玻璃基板(4a)上冲压接触压模来冲压成形，形成凹部(41)的第1工序，和在凹部(41)的底面上设置电极(42)的第2工序。优选上述冲压成形是在将所述基板加热到350～800℃的温度的状态下进行的。优选构成玻璃基板(4a)的玻璃的热膨胀系数为20×10-7～90×10-7℃-1。

公开(公告)号：CN1262864C

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200410002005.4

申请日：2004-01-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 牧垣奉宏

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B26/0825

Abstract: 本发明提供耐久性、显色性良好并且能够以简单的工序制造的光调制器、显示装置及它们的制造方法。具有通过施加静电力而发生摆动的可动反射膜(101)的第1基板(1)、被与第1基板(1)相对配置的并在对应于可动反射膜(101)的位置上形成了施加静电力的透明电极(203)的透光的第2基板(2)、由第1基板及第2基板所划定并限制可动反射膜的摆动范围的空洞部(204)。通过用基板的一部分形成可动反射膜，并由基板间的空隙来确定可动反射膜的摆动范围，获得高耐久性、高精度的光调制器。

公开(公告)号：CN1606180A

公开(公告)日：2005-04-13

申请号：CN200410011781.0

申请日：2004-09-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小枝周史 ,  牧垣奉宏

IPC: H01L51/40 ,  H01L51/20 ,  H01L51/00 ,  H01L33/00 ,  H01L29/78 ,  G09F9/30 ,  G09F9/00 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/00

CPC classification number: H01L27/3253 ,  H01L51/5253 ,  Y10T428/24917

Abstract: 本发明提供一种能抑制基板发生翘曲，并能使基板间保持恒定间隙距离，同时能均匀填充密封树脂，并能防止残余应力引发各种元件破坏的基板接合体制造方法，基板接合体、电光学装置的制造方法，及电光学装置，其特征在于，在将具有第1功能元件(13)的第1基板(3)和具有第2功能元件(25、21)的第2基板(4)贴合在一起制造基板接合体(2)的方法中，上述第1基板(3)形成第1功能元件(13)一侧，或上述第2基板(4)形成第2功能元件(25、21)一侧，至少一方上形成保护层(30)。

公开(公告)号：CN1517743A

公开(公告)日：2004-08-04

申请号：CN200410002005.4

申请日：2004-01-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 牧垣奉宏

IPC: G02B26/02 ,  G02B26/06

CPC classification number: G02B26/001 ,  G02B26/0825

Abstract: 本发明提供耐久性、显色性良好并且能够以简单的工序制造的光调制器、显示装置及它们的制造方法。具有通过施加静电力而发生摆动的可动反射膜(101)的第1基板(1)、被与第1基板(1)相对配置的并在对应于可动反射膜(101)的位置上形成了施加静电力的透明电极(203)的透光的第2基板(2)、由第1基板及第2基板所划定并限制可动反射膜的摆动范围的空洞部(204)。通过用基板的一部分形成可动反射膜，并由基板间的空隙来确定可动反射膜的摆动范围，获得高耐久性、高精度的光调制器。