表面处理装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1604286A

    公开(公告)日:2005-04-06

    申请号:CN200410085730.2

    申请日:2004-09-30

    CPC classification number: H01L21/6838 C23F1/08

    Abstract: 表面处理装置1构造为当对基片10的背面101执行表面处理时保持基片10。所述表面处理装置1包括:至少一个封闭空间,每个封闭空间都由凹入部分32和基片10的正面102限定;以及O形环2(接触部分),适于与基片10的正面102密封,以与O形环2和基片10的正面102协作而产生负压。所述表面处理装置1如此构造,通过使减压室中的封闭空间减压,然后将基片从减压室的内部取出到大气压力下的环境中,使得基片利用负压和大气压力之差吸到表面处理装置1上。

    零件拆分装置及零件拆分装置的控制方法

    公开(公告)号:CN115246134B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202210451798.6

    申请日:2022-04-24

    Abstract: 提供一种零件拆分装置及零件拆分装置的控制方法,可以使零件向多个方向移动,并使零件翻转。零件拆分装置(6)具备:载置台(18),具有载置零件(21)的载置面(19);第一电机(16)及第二电机(17),使旋转轴旋转而振动;以及支承部(12),支承载置台(18)、第一电机(16)及第二电机(17),并将第一电机(16)及第二电机(17)的振动传递到载置台(18),其中第一电机(16)及第二电机(17)的旋转轴的轴向与载置面(19)平行,并且,在从与载置面(19)垂直的方向观察的俯视观察中相互交叉,支承部(12)的共振频率在与载置面(19)垂直的方向上比在与载置面(19)平行的方向上高。

    作业方法及机器人系统
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114055429B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202110852581.1

    申请日:2021-07-27

    Abstract: 提供一种作业方法及机器人系统,能够进行顺畅的作业。作业方法是机器人系统对于对象物进行伴随有重量增减的作业的方法,所述机器人系统具有机器人、第一手爪以及第二手爪,所述第一手爪具有助力装置,所述第二手爪不具有助力装置,在所述作业方法中,根据所述对象物的重量来切换助力作业状态和非助力作业状态,所述助力作业状态是将所述第一手爪连接于所述机器人并在由所述助力装置赋予助力的状态下进行作业的状态,所述非助力作业状态是将所述第二手爪连接于所述机器人并在未由所述助力装置赋予助力的状态下进行作业的状态。

    弹簧分离供给装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118577487A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410237560.2

    申请日:2024-03-01

    Abstract: 本发明提供提高将多个弹簧相互分离时的分离准确度的弹簧分离供给装置。一种弹簧分离供给装置,具备:收纳部,能够收纳多个弹簧;吹喷部,朝向所述收纳部中收纳的所述弹簧吹喷气体;突起部,在所述收纳部的内部所述气体流动的方向上位于比所述吹喷部靠下游的位置,并朝向所述收纳部的内侧突出;以及排出部,在所述流动的方向上位于比所述突起部靠下游的位置,通过所述排出部,所述弹簧从所述收纳部的内部排出。

    机器人用手、对象物检测方法及控制装置

    公开(公告)号:CN115366090A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202210535013.3

    申请日:2022-05-17

    Abstract: 提供一种能够实现前端部的小型化的机器人用手、对象物检测方法及控制装置。机器人用手具有在Z轴方向上延伸并在前端部具有第一把持部的第一手部、和在Z轴方向上延伸并在前端部具有第二把持部的第二手部,通过使第一手部及第二手部在X轴方向上相对地移动而由第一把持部和第二把持部来夹持对象物。在第一手部配置有:发光部,位于第一把持部的基端侧,朝向第一手部的前端侧射出光;以及第一反射部,朝向第二手部反射来自发光部的光,在第二手部配置有:第二反射部,朝向第二手部的基端侧反射由第一反射部反射的光;以及受光部,位于第二把持部的基端侧,接收由第二反射部反射的光。

    零部件散开装置以及零部件散开装置的控制方法

    公开(公告)号:CN115229845A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202210417027.5

    申请日:2022-04-20

    Abstract: 本发明涉及零部件散开装置以及零部件散开装置的控制方法,其能够使零部件向多个方向移动,并使零部件翻转。零部件散开装置(6)具备:载置台(21),具有载置零部件(23)的载置面(22);第一电机(17)、第二电机(18)和第三电机(19),使旋转轴旋转并进行振动;以及支承部(12),支承载置台(21)、第一电机(17)、第二电机(18)和第三电机(19),并将各电机的振动传递到载置台(21),第三电机(19)的第三旋转轴(19a)的轴向与载置面(22)平行、且第一电机(17)以及第二电机(18)的旋转轴的轴向相对于载置面(22)垂直。

Patent Agency Ranking