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公开(公告)号:CN114269456A
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202080056293.9
申请日:2020-07-30
Applicant: 福吉米株式会社
Abstract: 提供:一种含添加剂液体的过滤方法,其能够实现维持实用的过滤器寿命并显示优异的缺陷减少能力的研磨用组合物。通过本发明提供的含研磨用添加剂液体的过滤方法包括利用满足以下条件(1)及(2)的过滤器对上述含研磨用添加剂液体进行过滤的工序。(1)用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下。(2)利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度(Sin/Sout)为3以下。
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