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公开(公告)号:CN102099098A
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN200980127417.1
申请日:2009-06-24
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: B01D65/08 , B01D35/20 , B01D61/14 , B01D61/20 , B01D63/00 , B01D65/02 , B01D71/10 , B01D71/36 , B01D71/50 , B01D71/56 , B01D71/68
CPC classification number: B01D29/72 , B01D61/20 , B01D65/02 , B01D2315/02 , B01D2315/04 , B01D2321/04 , B01D2321/2033 , B01D2321/2075 , C02F1/36 , C02F1/444 , C02F2103/346 , C02F2303/16
Abstract: 根据本发明,提供能够不损害操作效率使过滤器寿命延长和再生的过滤方法。另外,还提供将过滤器效率良好地再生的过滤器的再生方法和再生装置。本发明所述的过滤方法是使用树脂制介质过滤器过滤液体的方法,其特征在于,在进行过滤时、过滤暂时中止时或结束后照射频率30kHz以上的超声波。通过以该过滤方法过滤研磨用组合物,可以效率良好地进行纯化。另外,本发明所述的过滤器的再生方法包括对使用后的树脂制过滤器照射频率30kHz以上的超声波。
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公开(公告)号:CN114269456A
公开(公告)日:2022-04-01
申请号:CN202080056293.9
申请日:2020-07-30
Applicant: 福吉米株式会社
Abstract: 提供:一种含添加剂液体的过滤方法,其能够实现维持实用的过滤器寿命并显示优异的缺陷减少能力的研磨用组合物。通过本发明提供的含研磨用添加剂液体的过滤方法包括利用满足以下条件(1)及(2)的过滤器对上述含研磨用添加剂液体进行过滤的工序。(1)用孔径分布测定仪测定的平均孔径P为0.15μm以下。(2)利用SEM观察测定的入口侧平均孔径Sin与出口侧平均孔径Sout的比即孔径梯度(Sin/Sout)为3以下。
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