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公开(公告)号:CN108655965A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201810264782.8
申请日:2018-03-28
Applicant: 福吉米株式会社
IPC: B24D3/00
CPC classification number: B24D3/00
Abstract: 本发明涉及研磨用组合物。本发明要解决的问题在于,提供:提高每单位电流值的研磨速率、并且抑制研磨机的振动的、用于研磨硬脆材料的研磨用组合物。一种研磨用组合物,其用于研磨硬脆材料,且包含分散介质和磨粒,其中,粒径小于30nm的磨粒的含量小于前述磨粒整体的4.0体积%,粒径30nm以上且小于60nm的磨粒、粒径60nm以上且小于100nm的磨粒、及粒径100nm以上且小于140nm的磨粒的含量均为前述磨粒整体的2.0体积%以上。