公开(公告)号：CN103562337A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201280025872.2

申请日：2012-03-28

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 玉田修一 ,  平野达彦 ,  井泽由裕 ,  大西正吾

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  H01L21/321

CPC classification number: C23F3/06 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/3212

Abstract: 本发明公开了一种含有在水溶液中与氧化剂的共存下使pH降低的物质和pH缓冲剂的研磨用组合物。相对于100g该研磨用组合物刚添加31重量%的过氧化氢水溶液5.16g后的研磨用组合物的pH与添加过氧化氢后静置8天后的研磨用组合物的pH之差以绝对值计为0.5以下。本发明还公开了另一种含有在水溶液中与氧化剂的共存下使pH降低的物质和pH控制剂的研磨用组合物。与相对于100ml该研磨用组合物刚添加31重量%的过氧化氢水溶液5.16g后的研磨用组合物中的碱性物质的量相比，添加过氧化氢后静置8天后的研磨用组合物中的碱性物质的量增加0.1mM以上。