公开(公告)号：CN110312776B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201880011959.1

申请日：2018-01-29

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 森嘉男 ,  谷口惠 ,  向井贵俊 ,  土屋公亮

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  H01L21/304

Abstract: [课题]提供消除激光硬标记周缘的隆起的性能优异的研磨用组合物。[解决方案]一种研磨用组合物，其包含磨粒、水溶性高分子、碱性化合物和水，前述水溶性高分子为包含源自苯乙烯或其衍生物的结构单元、和源自除此之外的单体的结构单元的共聚物。

公开(公告)号：CN110312776A

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201880011959.1

申请日：2018-01-29

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 森嘉男 ,  谷口惠 ,  向井贵俊 ,  土屋公亮

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  H01L21/304

Abstract: [课题]提供消除激光硬标记周缘的隆起的性能优异的研磨用组合物。[解决方案]一种研磨用组合物，其包含磨粒、水溶性高分子、碱性化合物和水，前述水溶性高分子为包含源自苯乙烯或其衍生物的结构单元、和源自除此之外的单体的结构单元的共聚物。