移动装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100541337C

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200680002500.2

    申请日:2006-01-10

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/70758 Y10S414/135

    摘要: 本发明公开了一种特别是用于半导体工业的移动装置(701),该装置包括第一部分,该第一部分包括承载体(714),磁体系统(710)按照分别平行于X方向和Y方向延伸的行和列的模式布置在承载体(714)上。每行和每列上的磁体按照海尔贝克阵列布置,即在每行和每列上的相继的磁体的磁性取向逆时针旋转90°。第二部分包括具有两种类型电线圈的电线圈系统(712),一种类型电线圈与X方向成+45°的角,另一种类型电线圈与X方向成-45°的角。第一部分(714,710)可相对于静止的第二部分(712)在厘米或更大的范围上运动。为了高精度地定位所述第一部分,设有干涉仪系统(731,730)。

    具有改进的传热性能的混合线圈

    公开(公告)号:CN101228598A

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200680027263.5

    申请日:2006-07-21

    发明人: J·C·康普特

    IPC分类号: H01F27/22 H01F27/32

    CPC分类号: H01F27/22 H01F27/323

    摘要: 混合线圈(11)利用导线层(22)、邻近导线层(22)的导线层(23)、以及邻近导线层(23)的导线层(24)。该混合线圈(11)还使用物理上置于导线层(22)和导线层(23)之间的间隔中的导热绝缘体(42),以及物理上置于导线层(23)和导线层(24)之间的间隔中的导热绝缘体(43)。该导热绝缘体(42,43)可以是电隔离的,并且各导热绝缘体(42,43)可包括铝箔(42a,43a),该铝箔(42a,43a)在其每一侧具有氧化层(42b,43b,42c,43c)。

    移动装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101107571A

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200680002500.2

    申请日:2006-01-10

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/70758 Y10S414/135

    摘要: 本发明公开了一种特别是用于半导体工业的移动装置(701),该装置包括第一部分,该第一部分包括承载体(714),磁体系统(710)按照分别平行于X方向和Y方向延伸的行和列的模式布置在承载体(714)上。每行和每列上的磁体按照海尔贝克阵列布置,即在每行和每列上的相继的磁体的磁性取向逆时针旋转90°。第二部分包括具有两种类型电线圈的电线圈系统(712),一种类型电线圈与X方向成+45°的角,另一种类型电线圈与X方向成-45°的角。第一部分(714,710)可相对于静止的第二部分(712)在厘米或更大的范围上运动。为了高精度地定位所述第一部分,设有干涉仪系统(731,730)。