公开(公告)号：CN101107195A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200680002523.3

申请日：2006-01-10

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： M·T·梅韦斯 ,  D·范利洛普 ,  R·J·阿斯杰斯 ,  G·L·M·扬森 ,  E·C·E·范格鲁斯温 ,  D·M·布劳沃

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062

Abstract: 本发明涉及一种用于使物体(2)以二自由度倾斜的微机电装置(1’)，其包括承载元件(3)和隔膜(4)，所述物体(2)通过隔膜(4)与承载元件(3)连接，其中物体(2)和承载元件(3)分别包括至少一个电极(5，6)。物体(2)通过物体(2)的至少一个电极(5)与承载元件(3)的至少一个电极(6)之间的静电力(7)被倾斜，电压从电压源(V1，V2)施加到电极(5，6)。

公开(公告)号：CN100588606C

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200680002523.3

申请日：2006-01-10

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： M·T·梅韦斯 ,  D·范利洛普 ,  R·J·阿斯杰斯 ,  G·L·M·扬森 ,  E·C·E·范格鲁斯温 ,  D·M·布劳沃

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062

Abstract: 本发明涉及一种用于使物体(2)以二自由度倾斜的微机电装置(1’)，其包括承载元件(3)和隔膜(4)，所述物体(2)通过隔膜(4)与承载元件(3)连接，其中物体(2)和承载元件(3)分别包括至少一个电极(5，6)。物体(2)通过物体(2)的至少一个电极(5)与承载元件(3)的至少一个电极(6)之间的静电力(7)被倾斜，电压从电压源(V1，V2)施加到电极(5，6)。