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公开(公告)号：CN118353410A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410562062.5
申请日：2024-05-08
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种具有迷宫结构的谐振器及其加工方法，所述具有迷宫结构的谐振器，包括支撑台，以及位于支撑台顶端的谐振体、外接输入电极、外接输出电极、外接地电极以及迷宫结构；外接输入电极和外接输出电极对称设置在支撑台顶端的两侧，且外接输入电极和外接输出电极的两侧均对称设置有外接地电极；所述支撑台包括硅基底、第一埋氧化层以及背衬底；谐振体设置在支撑台顶端的中心处，且其两侧分别通过对应的金属导线与外接输入电极和外接输出电极电性连接；所述谐振体包括输入金属电极薄膜、输出金属电极薄膜以及压电薄膜；迷宫结构围绕中心的谐振体均匀设置；本发明可解决现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高以及可靠性低的问题。
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公开(公告)号：CN118353405A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410562064.4
申请日：2024-05-08
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种蜘蛛网状结构的声学谐振器，包括支撑台，以及位于支撑台顶端的蜘蛛网状结构的谐振体及外框、外接输入电极、外接输出电极；环形谐振体设置在支撑台顶端的中心处，且其左右两侧分别通过对应的金属导线绕过蜘蛛网状结构与外接输入电极和外接输出电极电性连接，环形谐振体上下左右分布着对称的支撑台以支撑蜘蛛网状结构；蜘蛛网状外框结构围绕中心的环形谐振体均匀设置；本发明解决了现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高以及机械可靠性低的问题，能有效降低传统声学谐振器的锚点损耗，提高器件的品质因数和可靠性。
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公开(公告)号：CN118449482A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410709263.3
申请日：2024-06-03
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明属于射频声学谐振器技术领域，公开了一种新型层状结构的高性能兰姆波谐振器，包括衬底、功率补偿层、第一温度补偿层、压电薄膜、电极、第二温度补偿层；衬底位于谐振器最底端，功率补偿层在衬底上方，第一温度补偿层位于功率补偿层上方，压电薄膜设置在第一温度补偿层上方，压电薄膜上方设置有第二温度补偿层，第二温度补偿层内含有电极。衬底材料为Si；功率补偿层材料为SiC、GaN；第一温度补偿层材料为SiO2；压电薄膜材料选自铌酸锂LiNbO3、钽酸锂LiTaO3，氮化铝AlN，掺钪氮化铝AlScN压电材料；电极为IDT电极，材料选自钛Ti、铝Al、铜Cu、金Au、铂Pt、银Ag中的至少一种；电极上方的第二温度补偿层材料为SiO2；衬底采用底部刻蚀。
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