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公开(公告)号：CN118353410A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410562062.5
申请日：2024-05-08
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种具有迷宫结构的谐振器及其加工方法，所述具有迷宫结构的谐振器，包括支撑台，以及位于支撑台顶端的谐振体、外接输入电极、外接输出电极、外接地电极以及迷宫结构；外接输入电极和外接输出电极对称设置在支撑台顶端的两侧，且外接输入电极和外接输出电极的两侧均对称设置有外接地电极；所述支撑台包括硅基底、第一埋氧化层以及背衬底；谐振体设置在支撑台顶端的中心处，且其两侧分别通过对应的金属导线与外接输入电极和外接输出电极电性连接；所述谐振体包括输入金属电极薄膜、输出金属电极薄膜以及压电薄膜；迷宫结构围绕中心的谐振体均匀设置；本发明可解决现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高以及可靠性低的问题。
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