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公开(公告)号：CN114280108A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111474405.5
申请日：2021-12-03
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明涉及一种铝基多孔氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，所述传感器的主体包括有铝基底，铝基底表面生长的多孔氧化铝薄膜以及氧化铝薄膜表面的顶电极，所述传感器的制备工艺包括有：一次氧化工艺、二次氧化工艺、蒸发镀膜工艺以及电极电线引出工艺。本发明制备的多孔氧化铝薄膜工艺功耗低，薄膜表面具有较大的孔径，具有较快的响应速度和恢复速度。
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公开(公告)号：CN117286468A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311256533.1
申请日：2023-09-26
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种提高磁控溅射沉积薄膜均匀性和靶材寿命的方法，该方法主要包括靶阴极磁体转动和基片转动两种方法。本发明采用两种转动方法结合的方式，能够分别控制转动速度，大大提高磁控溅射沉积薄膜的均匀性，提高薄膜质量的同时能够大幅提高靶材利用率，降低成本。
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公开(公告)号：CN114322740A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111470222.6
申请日：2021-12-03
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种基于磁控溅射的复合薄膜应变计，该复合薄膜应变计包括不锈钢基底、氧化铝绝缘层、镍铬合金薄膜应变层、环氧导电胶、氧化铝保护层和铜导线，本发明采用磁控溅射沉积薄膜，薄膜致密均匀，稳定性高，测量应变性能好，在低温环境中受外界环境影响小；本发明采用光刻掩膜版图形化应变栅方案，适用于在小尺寸部件及精度要求高的部件表面图形化应变栅，图形小精度高，操作流程简单；本发明应变层应变栅图形由四个相同的基本应变栅单元组成，任意一个横向和纵向成对可以与外部电路相接构成惠斯通电桥实现具备温度补偿作用的应力的测量，同时还可以实现对四个基本应变栅单元的电阻进行单独测量。
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公开(公告)号：CN117265487A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311246358.8
申请日：2023-09-26
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种智能刀柄薄膜应变计的加工方法，该加工方法所需的刀柄架由连接底板，前端固定件，后端固定件，可调节高度六角螺柱，定位块，定位块固定件组成，前端固定件通过螺丝固定在连接底板左侧上方，后端固定件通过螺丝固定在连接底板右侧上方，四根可调节高度六角螺柱分别通过螺丝固定在连接底板四个角下方，定位块通过螺丝固定在前端固定件正中间的下方，将刀柄安放在前端固定件和后端固定件之间，使定位块插入刀柄定位销中。本发明可确保刀柄溅射时镀膜面水平保证薄膜质地均匀性能稳定，且可以调节靶基距；本发明增添了防潮层，有利于延长刀柄在有冷却液的情况下的寿命保证了应变计的工作性能。
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