一种电镀铜氧化还原型添加剂的定量方法

    公开(公告)号:CN119352116A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411465215.0

    申请日:2024-10-21

    Abstract: 本发明属于电子电路制造领域,涉及大马士革晶圆电镀铜、封装载板及印制电路板中涉及的电镀铜技术,具体提供一种电镀铜氧化还原型添加剂的定量方法,用以实现酸性硫酸盐电子电镀铜镀液中氧化还原型添加剂浓度测量;本发明基于伏安分析法提出一种氧化还原型添加剂的消耗电荷量的测量方法,同时可以测量电镀液的法拉第电流效率,通过氧化还原型添加剂的消耗电荷量或法拉第电流效率的标定,结合电化学定量分析方法测定电镀液中氧化还原型添加剂的浓度,具有线性重现性好、精度高、操作简单等优点,在印制板、封装基板及集成电路制造等领域具有重要的应用价值。

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