基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器

    公开(公告)号:CN106450615B

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201610565875.5

    申请日:2016-07-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器,包括矩形波导、MEMS微执行器及谐振结构;所述矩形波导由对称结构的上腔体和下腔体构成,所述上腔体和下腔体接触面中段均设有矩形直波导,所述矩形直波导两侧对称设置有与其连通的微执行器安装槽;所述MEMS微执行器安装在矩形波导的微执行器安装槽内,其包括驱动器和波导基体;所述驱动器与谐振结构连接,其关于谐振结构对称安装在波导基体表面。本发明采用MEMS微执行器调节太赫兹频段滤波器频率,具有工作频率高,调谐范围广,易于制造,通用性强等优点,在太赫兹系统中具有良好的应用前景。

    基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器

    公开(公告)号:CN106450615A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610565875.5

    申请日:2016-07-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS微执行器的可调太赫兹波导带阻滤波器,包括矩形波导、MEMS微执行器及谐振结构;所述矩形波导由对称结构的上腔体和下腔体构成,所述上腔体和下腔体接触面中段均设有矩形直波导,所述矩形直波导两侧对称设置有与其连通的微执行器安装槽;所述MEMS微执行器安装在矩形波导的微执行器安装槽内,其包括驱动器和波导基体;所述驱动器与谐振结构连接,其关于谐振结构对称安装在波导基体表面。本发明采用MEMS微执行器调节太赫兹频段滤波器频率,具有工作频率高,调谐范围广,易于制造,通用性强等优点,在太赫兹系统中具有良好的应用前景。

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