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公开(公告)号：CN117369271A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311451800.0
申请日：2023-11-01
Applicant: 电子科技大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明提供了一种基于模糊自适应参数调整迭代前馈及干扰抑制的光刻机工件台运动控制方法，该控制方法的控制结构主要由模糊自适应迭代前馈控制器、模糊神经网络PID反馈以及基于迭代学习和干扰观测的复合扰动补偿控制器组成，提高了光刻机工件台轨迹跟踪速度和精度。本发明降低了控制器的设计难度以及运动系统的建模要求，可以对系统所受的重复性扰动和非重复性干扰进行抑制，同时减小了运动过程中的系统参数摄动带来的影响，提高了跟踪精度和定位精度，对参考轨迹变化不敏感。本发明方法灵活简单，适用性强，具有很强的推广价值和实用价值。
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