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公开(公告)号：CN116801470A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310990306.5
申请日：2023-08-07
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种带有磁芯的电感耦合远程等离子体发生器，包括放电腔室、磁芯和电感线圈；具体讲，先用真空泵将放电腔体内的气压抽至高真空后，再为放电腔室注入工质气体，然后通过外接电源向电感线圈通入射频交流电，电感线圈将电源提供的能量转化为电磁能，电磁能再经过磁芯将其传输至放电腔室，带电粒子吸收电磁场能量后与放电腔室中的气体分子或原子发生电离碰撞，形成等离子体，最后通过等离子体输出端口输出。
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