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公开(公告)号：CN116180029A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310458337.6
申请日：2023-04-26
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及柔性电子技术领域，具体涉及一种柔性薄膜的分层磁控溅射镀膜装置及其制备方法。本发明通过对镀膜进行分层磁控溅射的方式，能更好的细化每一层膜的镀膜质量，配合可分离的支撑板，进一步降低表面针孔率和防止裂纹产生，提高镀膜的整体性能。分层膜镀膜并对每一层膜进行消除静电的处理，提高后续金属粒子附着力，还能有效减少每一层溅射薄膜上的带电粒子，防止产生静电作用吸附腔体中的其他杂质粉末造成薄膜样品表面出现针孔，不仅提高了薄膜的致密性，还大大减少了裂纹，提高镀膜的稳定性和可靠性；同时在基片分层镀膜中，每一次镀膜前都进行拉伸，能有效平衡晶粒生长和薄膜与基材模量不同造成的应力，提高镀膜质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118222994B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410653239.2
申请日：2024-05-24
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及磁控溅射技术领域，具体涉及一种自清洁的高通量磁控溅射设备及操作方法。本发明通过在门体上设置基片模块，辅以同样设置在门体上适配的清洁模块，清洁模块通过气流控制对腔体内和基片模块及其周围区域的纳米金属颗粒进行清洁处理和收集；并进一步的提供了冷板使得溅射时的纳米金属颗粒不会对基片模块区域形成强附着，以利于后期的清洁。本发明不仅防止了环境污染，还保护了操作人员健康，同时简化了镀膜腔体内的结构，便于对基片进行换片和对基片夹具进行维修；在设备操作安全性和设备清洁便捷性上都有明显提高，有利于广泛使用。
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公开(公告)号：CN119040806A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411169232.X
申请日：2024-08-23
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种长循环金属电池负极超薄镍银双金属涂层的制备方法，包括：1)将腔室清洗，样品台装载锌箔，调节靶材与基底之间的角度，用机械泵和分子泵将腔室抽真空；通入氩气，利用离子源清洗技术除去锌箔表面的杂质；2)通入氩气，溅射镍银合金靶材，或共溅射镍和银金属靶材，调节两个靶材的功率改变双金属涂层中镍和银元素的含量，将镍银双金属同时沉积到经过离子源清洗后的锌箔表面；3)对得到的镍银双金属涂层改性的锌箔静置一段时间，获得锌电池负极用组分可调的镍银双金属涂层；本发明引导锌在其表均匀沉积，并利用磁控共溅射技术调节两个金属靶材的溅射功率，精确控制镍银双金属涂层的镍、银含量，实现一种超长循环稳定金属电池负极的制备。
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公开(公告)号：CN116180029B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310458337.6
申请日：2023-04-26
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及柔性电子技术领域，具体涉及一种柔性薄膜的分层磁控溅射镀膜装置及其制备方法。本发明通过对镀膜进行分层磁控溅射的方式，能更好的细化每一层膜的镀膜质量，配合可分离的支撑板，进一步降低表面针孔率和防止裂纹产生，提高镀膜的整体性能。分层膜镀膜并对每一层膜进行消除静电的处理，提高后续金属粒子附着力，还能有效减少每一层溅射薄膜上的带电粒子，防止产生静电作用吸附腔体中的其他杂质粉末造成薄膜样品表面出现针孔，不仅提高了薄膜的致密性，还大大减少了裂纹，提高镀膜的稳定性和可靠性；同时在基片分层镀膜中，每一次镀膜前都进行拉伸，能有效平衡晶粒生长和薄膜与基材模量不同造成的应力，提高镀膜质量。
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公开(公告)号：CN118222994A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410653239.2
申请日：2024-05-24
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及磁控溅射技术领域，具体涉及一种自清洁的高通量磁控溅射设备及操作方法。本发明通过在门体上设置基片模块，辅以同样设置在门体上适配的清洁模块，清洁模块通过气流控制对腔体内和基片模块及其周围区域的纳米金属颗粒进行清洁处理和收集；并进一步的提供了冷板使得溅射时的纳米金属颗粒不会对基片模块区域形成强附着，以利于后期的清洁。本发明不仅防止了环境污染，还保护了操作人员健康，同时简化了镀膜腔体内的结构，便于对基片进行换片和对基片夹具进行维修；在设备操作安全性和设备清洁便捷性上都有明显提高，有利于广泛使用。
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公开(公告)号：CN116654237A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310705085.2
申请日：2023-06-14
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及浮空器技术领域，具体涉及一种可区域调控轨迹的浮空探测装置及其使用方法。本发明通过对浮空探测装置装载卫星定位装置和探测控制单元，辅以水平角度全方向推动的推进器，结合探测控制单元的数据处理结果根据预设数据全自动控制推进器不定时启动，能更好的解决探测装置飘出探测范围的问题；同时配合太阳能板进行可持续供能，进一步提高装置的使用寿命和整体利用率。并且本发明还提供了设置收缩绳的超压气球、捕风袋以及结构和材料的优化方案，最终可实现更易于操控、更轻便化、使用更灵活、成本更低廉的浮空探测装置。
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