公开(公告)号：CN113817996A

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202111010606.X

申请日：2021-08-31

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 熊杰 ,  李秀丽 ,  杨超 ,  黄建文 ,  王建东 ,  王勇 ,  王丝爽 ,  邱东

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/04 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/26 ,  C23C14/54 ,  H01L39/24

Abstract: 本发明提供一种YBCO薄膜表面制备高质量银电极的方法，属于电极制备技术领域。该制备方法采用热蒸发法在YBCO薄膜表面制备银电极，并在蒸发过程中根据银电极的膜厚调控蒸发速率，得到高质量的银电极，且电极的附着性好、接触电阻小。

公开(公告)号：CN113817996B

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202111010606.X

申请日：2021-08-31

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 熊杰 ,  李秀丽 ,  杨超 ,  黄建文 ,  王建东 ,  王勇 ,  王丝爽 ,  邱东

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/04 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/26 ,  C23C14/54 ,  H10N60/01

Abstract: 本发明提供一种YBCO薄膜表面制备高质量银电极的方法，属于电极制备技术领域。该制备方法采用热蒸发法在YBCO薄膜表面制备银电极，并在蒸发过程中根据银电极的膜厚调控蒸发速率，得到高质量的银电极，且电极的附着性好、接触电阻小。

公开(公告)号：CN115287627A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202210319028.6

申请日：2022-03-29

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 王丝爽 ,  杨超 ,  王建东 ,  刘雨晴 ,  熊杰

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C28/04 ,  H01B12/06

Abstract: 本发明提供的一种有效保护超薄钇钡铜氧薄膜的方法，属于高温超导薄膜技术领域，利用ALD技术，在100～150℃、0.15Torr下，先充入氧源0.015s，经氩气冲洗60s后，再充入铝源0.003s，之后氩气冲洗60s，重复100～200圈后，在超薄YBCO薄膜表面无损生长氧化铝保护层，有效保护超薄YBCO薄膜，在空气中和真空中环境中具有长期耐受性，并能隔绝溶液，可用于微纳加工的光刻工艺。