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公开(公告)号：CN106647181B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201611179384.3
申请日：2016-12-19
Applicant: 电子科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于DMD无掩膜光刻机的高速图像曝光方法，优化DMD光刻曝光控制流程，避免了直接由上位机软件发送实时曝光图像到DMD进行曝光，而是利用存储设备对待加工图像进行缓存，通过DMD控制板代替上位机软件完成高速实时曝光图像处理，无需对每一帧DMD实时曝光图像都进行一次通信接口传输，减少传输数据量，有效地减小通信接口的传输速率对光刻效率的限制，在实际曝光阶段，只是从外部存储设备中直接获取曝光图像信息，并基于曝光图像信息自动控制DMD微镜阵列完成快速翻转，充分发挥硬件控制板的高速数据传输和强大的时序控制能力的优势，大大缩短了数据传输时间，提高DMD图像曝光速度，提升了DMD无掩膜光刻机的工作效率。
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公开(公告)号：CN106886132A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201710278725.0
申请日：2017-04-25
Applicant: 电子科技大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70358 , G03F7/704
Abstract: 本发明公开了一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法，通过DMD控制器完成灰度曝光图像的分割和拼接，从而高速生成DMD灰度调制实时曝光图像，并根据曝光图像对DMD进行基于二元脉冲宽度的灰度调制，尽量缩短调制基准时间，提高DMD灰度曝光帧频，进而提高DMD数字光刻机曝光的工作效率。
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公开(公告)号：CN106647181A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611179384.3
申请日：2016-12-19
Applicant: 电子科技大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70383 , G03F7/70508
Abstract: 本发明公开了一种用于DMD无掩膜光刻机的高速图像曝光方法，优化DMD光刻曝光控制流程，避免了直接由上位机软件发送实时曝光图像到DMD进行曝光，而是利用存储设备对待加工图像进行缓存，通过DMD控制板代替上位机软件完成高速实时曝光图像处理，无需对每一帧DMD实时曝光图像都进行一次通信接口传输，减少传输数据量，有效地减小通信接口的传输速率对光刻效率的限制，在实际曝光阶段，只是从外部存储设备中直接获取曝光图像信息，并基于曝光图像信息自动控制DMD微镜阵列完成快速翻转，充分发挥硬件控制板的高速数据传输和强大的时序控制能力的优势，大大缩短了数据传输时间，提高DMD图像曝光速度，提升了DMD无掩膜光刻机的工作效率。
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