公开(公告)号：CN106840056A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201611233408.9

申请日：2016-12-28

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 彭斌 ,  邓泽佳 ,  张万里 ,  李凌 ,  崔亦霖 ,  弓冬冬 ,  周伟 ,  谢小伟 ,  喻恒

IPC: G01B17/04

CPC classification number: G01B17/04

Abstract: 本发明属于声表面波传感器的设计领域，具体为一种基于硅酸镓镧的双声表面波应变传感器及其设计方法。本发明通过在同一块LGS基片上关于欧拉角为(0°,138.5°,90°)对称的两个切向上分别制作一个声表面波谐振器，利用两个谐振器温度频率特性相同的特点，从而制成双SAW应变传感器，旨在消除SAW应变传感器在应变测试的过程中温度对于它的影响。本发明所设计的双SAW应变传感器能将应变从温度的影响中分离出来,极大地减小了温度对于应变测试所造成的影响，可以在任何基片能承受的温度范围内，实现对应变的准确测量。

公开(公告)号：CN106225948A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201610602402.8

申请日：2016-07-27

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 彭斌 ,  张万里 ,  邓泽佳 ,  崔亦霖 ,  舒琳 ,  李光兰 ,  弓冬冬 ,  周伟

IPC: G01K11/26

CPC classification number: G01K11/265

Abstract: 本发明属于声表面波传感器的设计领域，具体为一种双声表面波温度传感器及其设计方法。本发明通过将两个SAW谐振器设计集成于同一块压电基片上；两个SAW谐振器IDT的垂线互为夹角a，20°≤a≤160°，主体结构之间不相互接触。本发明所制成的双SAW温度传感器能实现全温度范围内即基片所能承受温度对温度的测量，并显著提高传感器谐振频率随温度变化的线性度。