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公开(公告)号：CN111566792B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN201880083702.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 一种用于控制前驱物流的设备和方法。所述设备可包括：处理器；以及存储器单元，耦合至所述处理器，包括通量控制常式。所述通量控制常式可在所述处理器上运行以监测所述前驱物流且可包括通量计算处理器，所述通量计算处理器用以基于自用以递送前驱物的气体递送系统的胞元接收的所检测信号强度的变化而确定前驱物通量值。
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公开(公告)号：CN117403215A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311342976.2
申请日：2018-12-26
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: C23C16/52 , H01L21/67 , H01L21/02 , C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 一种用于控制前驱物流的设备和方法。所述设备可包括：处理器；以及存储器单元，耦合至所述处理器，包括通量控制常式。所述通量控制常式可在所述处理器上运行以监测所述前驱物流且可包括通量计算处理器，所述通量计算处理器用以基于自用以递送前驱物的气体递送系统的胞元接收的所检测信号强度的变化而确定前驱物通量值。
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公开(公告)号：CN111566792A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880083702.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 一种用于控制前驱物流的设备。所述设备可包括：处理器；以及存储器单元，耦合至所述处理器，包括通量控制常式。所述通量控制常式可在所述处理器上运行以监测所述前驱物流且可包括通量计算处理器，所述通量计算处理器用以基于自用以递送前驱物的气体递送系统的胞元接收的所检测信号强度的变化而确定前驱物通量值。
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